中古 AXCELIS / FUSION M 150 #9287265 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150は、紫外線（UV）または光応答性化学物質の正確かつ正確な線量を基板に供給することができる露光装置です。このシステムは、信頼性と再現性の高い露出を確保するために、一連の複雑なコンポーネントとメカニズムを利用しています。FUSION M 150は、高度な露光コンポーネントの複数の構成を装備することができるモジュラープラットフォームです。これらのコンポーネントには、ソースと基板、環境センサモジュール、およびコントローラユニットが含まれます。ソース基板と基板基板により、露光線量と露光角度を正確に調整し、最適な精度を得ることができます。これにより、基板が正しい方法で化学物質にさらされることが保証されます。環境センサモジュールは、温度、湿度、気流などの環境条件の変化をセンサーで検出します。これにより、環境変動による材料劣化のリスクを低減しながら、異なるバッチ間で一貫した結果を達成することができます。コントローラーユニットはAXCELIS M150の中心であり、ツールに電力を供給し、露出サイクルを制御し、資産パフォーマンスを監視し、リアルタイムのフィードバックとアラームを提供する責任があります。コントローラを使用すると、モデル設定にアクセスしたり、自動露出サイクルのパラメータを調整したりすることもできます。M150はユーザーの部分の最低の努力と精密で、再現可能な露出を提供するように設計されている信頼できる、高度の露出装置です。また、材料の劣化リスクを最小限に抑えながら、異なるバッチ間で一貫した結果を生み出すことができます。このシステムは、手動調整を必要としない、正確で再現性のある露出をお探しの方に最適です。