中古 AXCELIS / FUSION M 150 #193148 を販売中

AXCELIS/FUSION M 150は、複数のダイサイズを高速かつ信頼性の高い方法でサポートするように設計された多方向露光装置です。このシステムは、石英、金属、プラスチックなどのさまざまな種類の基板からウェーハプレーンを提供します。このユニットは、基板の迅速かつ正確なアライメントを可能にする特別な2軸モーションマシンを備えています。X-Yモーションと回転モーションを組み合わせたこのツールは、マルチダイウェーハアプリケーション向けの柔軟なソリューションを提供します。FUSION M 150アセットは、露出プロセスを高度に制御する強力なモジュラーアーキテクチャを利用しています。それは2つのステップモーター線形サーボモーターによって動力を与えられ、効果的に高速基質の動きを扱うことができる高度のプログラム可能なベクトルドライブを特色にします。そのユニークな設計は、望ましい露出プロセスに最大限の制御と柔軟性を提供し、各基板の要件に合わせて完全に構成可能です。このモデルには、特許取得済みの可変圧力装置も装備されており、望ましい露出均一性を管理するための究極のソリューションを提供します。調整可能な圧力により、基板の反りの影響を排除しながら最適な圧力レベルを維持することができます。このユニットはまた、基板の上面と底面の両方の圧力を独立して制御するデュアルゾーンコントロールマシンを備えています。また、AXCELIS M150には高度なダイマッピングツールが装備されており、オペレータに全画像の完全なメタデータ要約を提供します。これは、露出プロセスの精度と一貫性の両方を確保するのに役立ちます。また、幅広い露光角度を実現することができます。高性能オプティクスを選択することで、0°から60°までの角度での露出が可能になり、より大きなコントラストと解像度を実現します。これにより、さまざまな相互接続や他の回路要素の製造に適しています。AXCELIS/FUSION M150は、お客様の個々のニーズを満たし、優れたパフォーマンスを提供するために完全にカスタマイズ可能です。それはいろいろな設計条件の基質の表面のための理想的な選択です。要求の厳しいアプリケーションのニーズを正確かつ一貫して満たすことができるため、あらゆるアプリケーションに最適な多方向露光モデルです。