中古 AXCELIS / FUSION LC-6B #9245539 を販売中

AXCELIS/FUSION LC-6Bは、リソグラフィープロセス、特にレーザースキャン投影露光システムで使用される高度な露光装置です。レーザー、光源、デジタル制御されたスキャン方式を利用して、微細なパターンや画像を基板に転送します。このユニットは、開発プロセスの合理化、生産歩留まりの向上、オーバーレイ精度の向上に役立つように設計されています。半導体、MEMS、 IC製造、その他多くの関連プロセスで使用できる、非常に汎用性の高い製品です。FUSION LC6Bマシンは、均一でシャープな画像パターンを生成する高周波、高解像度レーザダイオードによって駆動されます。このレーザーは、最大4ワットの電力を生成し、最大160 kHzの速度でレーザパルスを生成することができ、ツールに非常に広い動作範囲と高い光学スループットを与えます。これにより、線幅が小さく、ゲートや相互接続パターン、二重印刷などの用途に非常に適しています。AXCELIS LC 6Bのレーザーソースモデルは、365nm〜532nmの波長範囲と10ns〜1000nsの可変パルス耐久性を備え、簡単に調整可能でカスタマイズ可能なように設計されています。これに加えて、このアセットには、露光プロセスを最適化するための精密光学、AE制御、およびモーメンタリーシャッターも含まれています。これにより、特定のパターンや画像サイズを、素早い回転時間でフォトレジスト素材に正確に適用することができます。AXCELIS/FUSION LC6Bは、0。1 μ mまでの画像安定化能力を備えた高解像度プロジェクションオプティクスと画像安定化モデルを搭載しています。さらに、この機器は優れたマスキングパターンとオーバーレイジョブを生成することができ、高度なリアルタイムユーザーインターフェースとJPG、 BMP、 TIF、 TGAイメージフォーマットなどのさまざまなジョブを備えたさまざまなパターンとイメージングオプションを提供します。AXCELIS/FUSION LC 6Bのレーザー投影システムは、プロセス全体の精度と制御を向上させながら、リソグラフィープロセスの成功に必要なステップ数を削減するように設計されています。この単位はまた急速な基質の噴霧を促進する多数のノズル機械、またより安全で、より制御された露出プロセスのために作るために統合されたハードウェアおよびソフトウェアが装備されています。全体として、AXCELIS LC-6Bは強力で汎用性の高い露光ツールであり、リソグラフィープロセスの高精度と効率を達成するための貴重な資産です。これは、高度な機能が満載されており、露出プロセスをカスタマイズするためのさまざまなオプションを提供しています。迅速なターンアラウンドタイムと優れたパターンと画質を備えたLC6Bは、リソグラフィープロセスを合理化するための理想的なツールです。