中古 AXCELIS / FUSION LC-6 #93376 を販売中

AXCELIS/FUSION LC-6は、今日のチップ製造業界で最も複雑なリソグラフィック要件に対応して設計された高精度、高生産性の露光装置です。FUSION LC-6は、ディープUVフォトリソグラフィ、Eビームリソグラフィ、ダイレクトライトプロセスに使用でき、比類のない精度と柔軟性をユーザーに提供します。AXCELIS LC-6は、カスタムデザインのイメージングモジュールを搭載し、さまざまなプロセスおよび露出設定にわたって正確なパフォーマンスを提供します。このシステムは、22nmで1-nuclear-offフォトマスク欠陥が可能であり、複数の露出ヘッドを同期させて高精度の異性体アレイを実現することができます。LC-6は、精密で反復可能な結果を保証するために、多くの高度な技術を備えています。これらには、視野全体にわたって均一性を確保する独自のアーキテクチャを備えたUniformity Moduleと、歪みを調整する独自のWavefront Deviationアルゴリズムが含まれます。また、FACSELアレイツールを搭載し、裏面画像を正確かつ非破壊的に解析します。AXCELIS/FUSION LC-6は、プロセスの公差と再現性を考慮して設計されています。さまざまなプロセス設定を特定のアプリケーションに合わせて調整でき、欠陥モニタリングと露出後のプロセス分析を利用して設定をさらに微調整できます。パラメーターは環境変化に合わせて調整することもでき、露出プロセス全体を通してリアルタイムの温度および湿度モニタリングを行うこともできます。FUSION LC-6の堅牢な光学設計は、振動を最小限に抑え、直線性を向上させ、画像アーティファクトを排除するためのDOEフリー設計により、長期的なパフォーマンスを保証します。また、メンテナンスを最小限に抑えるように設計されており、光学系の自動クリーニング、メンテナンスフリードライブ、および日常業務の完全なリモートソフトウェアサポートを備えています。全体として、AXCELIS LC-6は、チップ製造業界で最も要求の厳しい要件を満たすように設計された高度で高精度な露出ツールです。このアセットの堅牢で機能豊富な設計により、高精度で再現性の高い結果を提供することができますが、その高度な技術の範囲は、プロセスの柔軟性と再現性を最大限に高めるのに役立ちます。