中古 AXCELIS / FUSION K250 #9411433 を販売中

AXCELIS/FUSION K250は、ICウェーハの加工に特化した露出装置です。独自のステッピングモーターユニットと光学系を採用し、0。45 µmの高解像度露光を実現しています。また、ステッピングモータは高精度なアライメントが可能で、位置精度1。5 µmを実現しています。機械にモジュラー設計があり、さまざまな適用のために改善し、カスタマイズすることを容易にします。そのため、ICウエハの高度な加工には信頼性の高いツールです。FUSION K250には4インチ（100mm）のエアベアリングプレートを備えたウェーハ回転ステージがあり、5。5mm x 5。5mmから9。5mm x 9。5mmのスキャンエリアを提供します。ウェーハステージには、特許取得済みの垂直アライメントメカニズムも備えており、正確さと寿命を保証します。また、ステッピングモーターと光学系の制御を支援するユニークな「エアフェンシング」ツールを備えており、露出プロセスに安定性を提供します。この露出アセットには、44 μ m x 33 μ mのフィールドサイズ、0。2秒の露光時間、最大10W/cm2の露光量、優れた粒子還元フィルターなどの機能を備えた高性能FUSION光学素子が取り付けられています。また、光学構成によりスループットが向上し、生産作業に最適なツールとなります。AXCELIS K250は、できるだけユーザーフレンドリーに設計されています。バッチとシングルポートレシピの読み込みが可能で、直感的なメニューモデルで使いやすくなります。さらに、100以上の露出レシピのライブラリが用意されているため、設定を簡単に保存および取得できます。装置にフォトマスクの汚染を防ぐためにユーザー定義の調理法で使用される2つの基盤プロセスガス、酸素および窒素があります。さらに、ウェーハ表面の乾燥を確保する高度な水分除去ユニットを搭載しています。業界をリードする技術に加えて、K250は優れたテクニカルサポートを提供しています。専門家のエンジニアは24時間年中無休で電話、電子メール、または会社のウェブサイトを通じて連絡することができます。全体として、AXCELIS/FUSION K250露光機は、ICウェーハ処理のための最先端のツールです。それは速い露出時間、高解像度のイメージ投射、優秀なハードウェアおよび光学および優秀なサポートを特色にします。そのため、ICの生産作業に最適です。