中古 AXCELIS / FUSION K250 #9411431 を販売中

AXCELIS/FUSION K250は、半導体ウェーハ上のオプトエレクトロニクスアプリケーションを処理するために特別に設計された露光装置です。このシステムはクラス最高のパフォーマンスを提供し、より大きなウェーハスループットと優れたプロセス制御を提供します。この露出ユニットは、オプトエレクトロニクス生産における幅広い用途に、超精密なプロセス制御と高スループットを提供するように設計されています。高度な可変ソースのウェーハハンドリングステーションを備えており、高い電力効率と一貫した露出を提供します。このマシンは、高精度でウェーハ上のパターン領域の露出のための高度な光学部品を備えた270ミクロンのUVビームソースと、光学的に正確な露出アライメントを実現するための統合されたプリアライナーとスキャナーを備えています。FUSION K250は、高い電流イオンビーム源と最大700Wの加速電圧により、優れたウェーハスループットを提供します。さらに、その高度な副生成物封じ込めツールは、クリーンルーム操作のための優れた環境保護を保証します。このアセットには、ウェーハのロードとアンロード、およびウェーハ/マスクのアライメントのための高度な操作機能も備えています。人間工学に基づいたユーザーインターフェイスは、リアルタイムのフィードバック、直感的なグラフィカルインターフェイス、モデルを操作するための簡単な手順を提供します。さらに、装置の高度な制御機能により、最適な露出パラメータとプロセスの安定性が保証されます。AXCELIS K250は、オプトエレクトロニクスの生産要件に最適なソリューションです。優れたプロセス制御、高スループット、高度な操作機能により、幅広いオプトエレクトロニクス処理アプリケーションに対応します。高度な技術とユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた高性能ウエハハンドリングステーションは、オプトエレクトロニクス製造の究極の露光ソリューションです。