中古 AXCELIS / FUSION K250 #9411430 を販売中

AXCELIS/FUSION K250は、幅広いデバイス技術のプロセス開発と生産のために設計された先進的な露光装置です。最適化された現場で実証されたデジタルシャーシにより、優れた精度と再現性を実現し、最新の半導体デバイスを迅速かつ簡単に市場に投入することができます。このユニットは、Accu-Lithoデジタルリソグラフィープロセスと比類のない機能セットを内蔵しており、お客様は比類のないレベルの精度と再現性でプロセス歩留まりを達成できます。Accu-Lithoデジタルリソグラフィープロセスは、一連のパターンを使用して目的のデザインを基板に転送するという原理に基づいて動作します。この方法は、望ましいパターンが間違いなく正確に基板に転送されることを保証します。このマシンのユニークな機能セットには、露出チャンバのアライメントとフォーカスを調整して、可能な限り最良の結果を得る自動自己補正ツールが含まれています。この機能はまた、設計の変更に対応するためにチャンバーを素早く調整できるという利点を提供します。FUSION K250は、高解像度のデジタルウェーハステージを搭載し、画像処理と自動ウェーハ登録を統合しています。この機能により、アセットは基板を正確に登録し、キャプチャするデジタル画像を通して露出を狙うことができます。また、精度だけでなく、選択した機器への効率的なアクセスを提供する高度なプラットフォームを備えています。このプラットフォームには、複数のトレイを制御したり、プロセス手順を変更してパフォーマンスを向上させるなどの機能が強化されています。AXCELIS K250には、プロセスの品質管理と最適化のためのデータを収集する高速データ収集ユニットが内蔵されています。この装置には、信頼性の高いリニアおよび回転モーションドライブが搭載されているため、所望の構成を簡単に選択でき、完全な精度と再現性を実現します。最後に、K250には、自動アライメントとフォーカスの最適化、包括的なトレーサビリティ、予測メンテナンス機能を備えた包括的なデバイスとプロセスの自動制御など、多くの高度なソフトウェア機能が含まれています。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、ユニットの機能に簡単にアクセスできます。AXCELIS/FUSION K250は、最新の半導体デバイスをスピードと自信を持って市場に投入するために設計された先進的な露光機です。統合されたAccu-Lithoデジタルリソグラフィープロセス、高度なプラットフォーム、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、お客様は比類のないレベルの精度と再現性でプロセス歩留まりを迅速に達成する柔軟性を提供します。