中古 AXCELIS / FUSION I250B #9411427 を販売中

AXCELIS/FUSION I250Bは、集積回路やその他の電子部品を製造するためのリソグラフィック印刷回路とマイクロフィーチャーを製造するために設計された露出装置です。このシステムは、高度なソフトウェアとハードウェア技術を使用して、半導体デバイスを製造するための費用対効果の高い、生産性の高いプラットフォームを提供します。ユニットのコアは300mm FUSIONツールです。AXCELIS露光機は、KalinaとNEXUSの独自の技術を組み合わせて、幅広い複雑なパターン形状とサイズの高解像度画像を生成します。これには、超微細線幅だけでなく、線形パターン、自由形状パターン、および3次元構造が含まれます。このツールは、サブミクロン精度を使用して最小ステップサイズ125nmのスキャン露出とオーバーレイを行うことができます。また、従来のフォトマスクを必要とせずに高精度なパターンを生成できる高度なマスクレスリソグラフィーシステムも数多く組み込まれています。これには、コーディネートベースの近距離画像技術であるC3Dや、光学レンズを必要とせずに高解像度のイメージングを実現できるハイブリッド液浸が含まれます。さらに、このモデルは、幅広いレジスト材料や化学製品に対応するように設計されています。これには、i-lineおよびg-lineフォトレジスト、およびコンタクトレジストおよびエッチレジストが含まれます。ユーザーフレンドリーな制御装置は、ユーザーがエネルギーと強度設定の広い範囲で投与量と露光時間を制御することができます。このシステムは、新しいプロセスアプリケーションの開発プロセスも簡素化します。これには、マルチステージプロセスのシーケンスプログラミングを可能にする「Hybrid Job」ユニットや、クイックプロセス設定のための「Job Capture」などの機能が含まれます。また、自動パターン測定および解析機能も備えています。このツールは、自律的かつ他の生産設備と連携して動作することができます。これは、他の既存の工場環境に統合するための柔軟なフレームワークを提供し、最高品質の基準を満たすように製造されています。これにより、長期的な信頼性と製品の再現性が確保され、FUSION I250Bパターン回路を大量に生産するための信頼性と費用対効果の高いツールとなります。