中古 AXCELIS / FUSION I250B #9411424 を販売中

AXCELIS/FUSION I250Bは半導体産業の研究および製造の適用のために設計されている高性能の露出装置です。直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度な画像処理技術を備えており、幅広い用途で高いスループットと均一性を確保しています。FUSION I250Bは露光源、投影光学系、ステッパー/スキャナーシステムで構成されています。露出源は、プログラムされたパターンによって生成された光パターンを放出し、必要なすべての機能を含むピクセルのフィールドになります。投影光学系は、このパターンを高精度で精度の高い基板表面に投影します。ステッパー/スキャナユニットは、基板表面を投影パターンでパターン化するために必要な精密スキャンを提供します。この機械はパターンが基質で正確そして精密に形作られることを保障します。AXCELIS I250Bのサイクルタイムは6〜10秒で、最大スループットは毎時2000以上です。解像度は1 µmよりも優れており、再現性は0。1 µm以内であるため、リソグラフィ用途に適しています。I250Bにまた堅牢で、耐久の設計があり、部品は100万以上の露出のために評価されます。このツールは、自動基板のアクティベーションとアライメント機能も備えており、生産中の問題を防ぐのに役立ちます。さらに、プロセスパラメータを制御し、正確なパターン配置を実現するための詳細なキャリブレーション機能を備えています。さらに、直感的なユーザーインターフェイスと高度な画像処理機能を備えており、露出プロセスの複雑さを軽減するように設計されています。要するに、AXCELIS/FUSION I250Bは、基板表面に均一で正確で正確なパターン配置を可能にする高度な露出アセットです。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、自動化された基板の活性化、詳細な校正機能など、独自の機能により、市場で最も信頼性が高く効率的な露出システムの1つになります。