中古 AXCELIS / FUSION I250B #9411423 を販売中

AXCELIS/FUSION I250Bは、精密デバイスの製造とIC処理を可能にするように設計された、高度な露出装置です。この優れた、包括的な超大型フィールドプロジェクションフォトリソグラフィーシステムは、優れた露光性能と安定性を提供し、精密デバイスの製造をより大きな制御を可能にします。露光ユニットには、直線照明、大きなフィールド歪みのないイメージング、優れた効率と均一なフォトマスクレチクル、優れた真空能力、および二段階減少光学が装備されています。この高度な機能のスペクトログラフにより、FUSION I250Bは様々な基板において極めて精密なイメージングを実現します。AXCELIS I250B露光機を使用する主な利点の1つは、超広いフィールド露光領域です。これにより、機能分解能や露出均一性を犠牲にすることなく、複雑で大規模な構造物の露出を可能にします。この高い露出精度は、優れたフォトマスクレチクルと歪みのないイメージングを使用することで実現され、フォトリソグラフィープロセス中の歪みの可能性を最小限に抑えます。さらに、I250Bは、露出分解能を0。1ミクロンまで達成することができる2段階の還元光学系を備えており、最低限のセットアップで信頼性と再現性に優れた露出能力を提供します。露出アセットには優れた真空能力があり、効率的でクリーンな処理を保証し、デバイスの製造プロセスを正確に制御します。AXCELIS/FUSION I250Bは、操作とメンテナンス機能の強化、高度な画面監視とレポート、簡単なレシピ設定、アクティブ障害診断など、さまざまなユーザーフレンドリーな機能も提供しています。さらに、このモデルには、安全性と信頼性を高めるためのさまざまな安全機能が組み込まれています。全体的に、FUSION I250Bは優れた露出性能と安定性を提供し、精密デバイスの製造を制御することができます。高機能により、解像度0。1ミクロンまでの様々な基板において、極めて精度の高いイメージングが可能です。AXCELIS I250Bは、優れた信頼性と制御のために、デバイスの製造とIC処理に最適な選択肢です。