中古 AXCELIS / FUSION I250B #9411422 を販売中

AXCELIS/FUSION I250Bは、メモリデバイスやICのフォトリソグラフィ処理用に設計された露光装置です。これは、高解像度とスループットで信頼性が高く、反復可能で再現性の高い露出を提供します。それはそれが容易に異なったプロセス条件に合わせることを可能にするモジュラー設計を備えています。FUSION I250Bは、その素晴らしい成果を達成するために、多くの先進技術を使用しています。このシステムは、露光手順に2つの異なる波長の光を使用しているため、優れたイメージングおよび分解能を提供します。光源は強力なレーザーダイオードアレイ（LDA）で、最大900mWのレーザー出力を生成し、紫外線から可視範囲までの波長を実現します。2つの光源の間でレーザー力を転換するのに二クロイックミラーが使用されています。このユニットはまた、露光中のぼかしを最小限に抑えるグローバルシャッターを使用しています。露光プロセスを正確に制御するためのさまざまな機能を備えています。500mWまでの調整可能なレーザー出力と、0。5〜1。5ライン/秒の調整可能なライン速度を提供します。露光時間は1msから1000msまで調整可能で、プロセスの再現性を微調整できます。グローバルシャッターは、モーションのぼかしを防ぎ、パターンデバイスの滑らかなカバレッジと高い歩留まりを提供します。AXCELIS I250Bは、ダイナミックフォーカスや調整可能なバックプレーンイメージレベルなど、ウェーハイルミネーションのさまざまな機能を備えています。このツールはまた、2軸ムーブメントを備えた電動ウェーハトランスポートアセットを使用します。これにより、スループットが向上し、信頼性の高いウェーハのアライメントと再現性が向上します。I250Bは乾燥した、ぬれた抵抗、フォトレジスト、エッチング、抵抗のストリップ、無電解めっきおよび反射防止材料のような化学薬品そして材料の範囲と、使用されるように設計されています。ウェーハ全体およびその周辺の優れた均一性、解像度、カバレッジを提供します。全体として、AXCELIS/FUSION I250Bは、精度と信頼性のために設計された高度な露出モデルです。そのモジュラー設計と機能は、優れたスループット、解像度、信頼性の高い再現性を提供します。メモリデバイスやICのフォトリソグラフィ処理に最適です。