中古 AXCELIS / FUSION Gemini 200PCU/P #9103139 を販売中

FUSION Gemini 200PCU/P装置は、優れたイメージング機能と非常に正確なオーバーレイ性能を提供する超高精度露光システムです。このユニットは、最も複雑でスモールピッチのデバイスに対応するように最適化されており、最も特徴的な機能は、0。02ミクロンの小さなオーバーレイアライメントマークを正確に画像化および整列することです。機械には、高さの小さなバリエーションをより一貫させることができるデュアルプライス補償付きの自動レベリングテーブルが装備されています。この高度な技術は、可能な限り最高のオーバーレイ精度を達成するために効果的なイメージングを保証します。垂直および水平のスキャンステージは、最適な精度と高速処理速度のために設計されています。垂直段は50nm分解能で、最大加速度は1G、最大速度は400mm/sです。水平ステージの解像度は0。003ミクロン、最大加速度は5Gs、最高速度は250mm/secです。両ステージともデジタルトルクモータを搭載しており、露光プロセス全体において高精度なアライメントを維持するよう設計されています。イメージングには、最先端の可視アライナーと500Wグリーンレーザーを使用します。これにより、ファインピッチデバイス用のより幅広い露出設定でクリーンなイメージングが保証されます。プロセッサには、強化されたイメージングコントロールと自動露出アセットが付属しており、露出パラメータを正確に制御できます。このモデルには、熱管理機能が統合されており、機器の性能に影響を与える可能性のある熱応力を低減します。安定した熱環境を維持することで、熱関連エラーの発生を低減します。ジェミニ200PCU/Pユニットは、環境に配慮した方法で動作するように設計されています。低騒音設計で、カーボンフィルターを採用し、環境負荷を低減しています。全体として、AXCELISのGemini 200PCU/Pツールは、ファインピッチデバイス上のアライメントマークの非常に正確な重複を達成するための優れたツールです。高度なイメージング機能、優れた熱管理アセット、信じられないほどの精度を備えたこのモデルは、カスタムチップ生産設備にとって貴重な資産であることは間違いありません。