中古 AXCELIS / FUSION F 300S #9309256 を販売中

AXCELIS/FUSION F 300S露光装置は、半導体デバイスの製造に使用される高度なツールです。高度な光学部品を採用した先進的なシステムで、サブミクロメータ分解能で高精度な材料露出を実現します。このユニットは、プロジェクター、スキャンユニット、複数の光源など、いくつかの主要コンポーネントで構成されており、幅広い露光パターンを作成できます。このマシンは、さまざまな半導体デバイスの種類と互換性があり、メーカーにとって非常に汎用性の高いツールとなっています。プロジェクターはツールの中心にあり、最大5kHzの露光光を提供します。プロジェクターには、可変開口率の自動アセットが内蔵されており、露光光のサイズを正確に調整することができ、小さなフィーチャーサイズの露出を可能にします。プロジェクターはまた、高度なPWM （Pulse Width Modulation）技術を使用して、ターゲットへのスポットの露出を正確に制御し、最大0。25ミクロンのサイズの解像度を実現します。モデルのスキャンユニットは、ターゲット内の複雑な形状に非常に正確な露出移動を可能にします。それは視野内の露出された照明の動きを制御するために責任があり、露光光の非常に正確な配置を可能にします。スキャンユニットにはPico Speed Controllerも内蔵しており、迅速かつ高精度な露出移動を可能にし、幅広いチップ設計にわたる小さな機能の露出を可能にします。さらに、FUSION F 300Sは複数の露光源からの光を混合することができます。この機能を使用すると、露出深度や露出速度などの露出パラメータを正確に調整できます。結論として、AXCELIS F 300S露光装置は、半導体デバイスの製造に使用される非常に高度なツールです。その先進的な光学系と洗練されたコンポーネントにより、ユーザーは最大5kHzの露光速度でサブミクロメータの解像度を達成できます。さらに、複数のソースからの光を混合する機能により、露出パラメータを迅速かつ正確に調整して、複雑な露出パターンを作成できます。