中古 AXCELIS / FUSION F 300 Series #132416 を販売中

AXCELIS/FUSION F 300シリーズは、リソグラフィ、蒸着、エッチング用に設計された先進的なプロバーステーションです。この装置は、高精度を維持しながら、最大限の柔軟性と効率的なプロセススループットを提供するモジュール設計を提供します。その汎用性は、研究開発から生産まで、幅広い用途に最適です。直感的なツールを備えたソフトウェア制御プラットフォーム上に構築されたFUSION F 300 Seriesは、プロセスの統合、開発、展開を合理化するためのエキスパートレベルのプロセス制御と精度を提供します。AXCELIS F 300シリーズは、リニアドライブ、ボイシングアクチュエータ、および基板の正確な移動のための静電クランプを組み込んだ6軸ステージのアラベスクを備えています。また、高度なオーバーレイモニタリングとマーキング機能を備えているため、軸外アライメントエラーを迅速かつ簡単に修正できます。高感度のデュアルビューディテクタとインラインフィルターホイールを内蔵し、振動、温度、空気圧などの環境変化に対応できる正確で適応性の高いセンシングを可能にします。F 300シリーズは、既存のハードウェアとソフトウェアのリソースを利用して、既存のプロセスにシームレスに統合するように設計されています。AXCELIS/FUSION F 300シリーズは、簡単なナビゲーションとプロセス設定を提供する直感的なユーザーインターフェイスにより、よりスマートなプロセス最適化を実現します。また、アライメントオフセット、フィルター極性、補正モード、欠陥スレッショルドなど、エンドユーザーの調整可能なパラメータも備えています。このユニットは、機械とサブシステムの安定性を自動的に検出し、電力損失やその他の環境問題の場合にはデフォルト設定に戻すことで、データの損失や破損からさらに保護されます。FUSION F 300シリーズは、リソグラフィ、エッチング、および蒸着プロセスの要求の厳しい光電ニーズに対応するように設計された堅牢で高性能なツールです。その丈夫な構造および統合された部品は精密で、反復可能な結果を可能にするように設計されています。AXCELIS F 300シリーズは、幅広い機能と機能を備えており、高精度かつ高スループットのリソグラフィおよび蒸着プロセスに最適なソリューションです。