中古 AXCELIS / FUSION DRS-10 / 12QN #293645766 を販売中

AXCELIS/FUSION DRS-10/ 12QNは、幅広いフォトリソグラフィ用途を可能にするために開発された最先端の露光装置です。このシステムは、リソグラフィと光学部品の独自の統合プラットフォームに基づいて構築されており、幅広いプロセスを可能にする技術を備えています。FUSION DRS-10/ 12QNは、最新の光学技術とモーションコントロールを組み合わせ、優れた性能と柔軟性を提供し、独自の両面ウェーハ露出を実現します。このユニットには、さまざまなウエハサイズと基板に対応するガントリーマウントスキャン機が含まれています。Actable Quartz Cloakアセンブリは、均一なスキャンプロセス性能とライフサイクル性能の向上を提供します。反復可能で低ノイズスキャンツールは、水晶保護された写真調整ステージと自己整列ポスト露出ステージを組み合わせて、正確な位置決めと登録を可能にします。10nmプロセス対応のレーザー干渉計は、露光前と露光中にスキャンチェーンの位置を監視することにより、この登録の正確さを保証します。高精度レーザースキャナーとパターン生成システムにより、ウェハ全体にわたって正確な温度制御と優れた均一性を備えたパターン忠実性を実現します。高速サーボ応答、正確な制御、高度なソフトウェアアルゴリズムの組み合わせにより、アセットの高いスループットを実現します。自動化された光学アライメント装置を搭載し、2つの自動干渉計を使用してウェーハサイズにわたって高い再現性を備えた正確なアライメントを実現します。AXCELIS DRS-10/ 12QNは、優れたシャッタードア断熱システムを使用しており、正確な温度制御とパラメータの再現性を保証します。このユニットには、リモートチャック監視から高度なソフトウォッチャー/レシピ開発システムまで、さまざまなオプションコンポーネントがあります。強力なソフトウェアにより、ユーザーはさまざまな複雑な光学構成を設計することができます。要約すると、DRS-10/ 12QNは最先端の両面ウェーハ露出性能を提供します。その高度な機能とコンポーネントの範囲は、比類のない運用柔軟性と高スループットを提供します。統合されたソフトウェアパッケージとプロセス対応ツールにより、あらゆるフォトリソグラフィーアプリケーションに最適です。