中古 AXCELIS / FUSION 200 #9190886 を販売中

AXCELIS/FUSION 200は、集積回路の製造に使用される先進的な半導体露光装置です。このシステムは、スキャナのようなサブシステムを備えており、1µm以上の精度と再現性を備えており、ラピッドプロトタイピングから大量生産まで、すべてに統合されたソリューションを提供します。このユニットは、デュアルカラム環境に基づいており、幅広いプロセスパラメータを備えた広範囲のカバレッジを備えています。ハイエンドリソグラフィ用の強力なツールであり、他のソリューションと比較して拡張性とスループットを向上させます。FUSION 200は、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスで、高度な光学および計算技術を備えています。このマシンは、最先端の光学部品と機械部品を使用して、チップ全体に高速で正確で一貫した露出を提供します。標準モードや近接モードなど、いくつかの照明モードがあります。さらに、AXCELIS 200は、さまざまな材料を効果的に処理するために、紫外線と深紫色の光源を使用することができます。このツールは、最大200mmまでのウェーハや12インチまでのフラットパネルなど、あらゆる種類の基板に対応できます。また、露光時間、エネルギーレベル、その他の設定など、アプリケーションに応じて調整できるさまざまなパフォーマンスオプションを備えています。さらに、200には統合されたシミュレーションアセットが付属しており、必要な露出パラメータをすばやく複製できます。これは、リソグラフィープロセスを改善し、高いレベルの均一性と再現性を確保するのに役立ちます。このモデルは、メンテナンスと運用のコストを最小限に抑えるように設計されています。AXCELIS/FUSION 200はメンテナンスを最小限に抑え、ランプ寿命を大幅に延長し、全体的な運用コストを削減します。また、幅広い基材に対応しており、優れたアライメントと解像度を備えています。これにより、大量生産のための素晴らしい選択肢となります。FUSION 200は、あらゆる半導体アプリケーションに適した信頼性の高い高性能露光システムです。優れた光学系と正確なアラインメントにより、さまざまな材料を高精度に処理できます。さらに、使いやすく、メンテナンスの必要性が低く、時間とコストを節約するオプションを提供します。