中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9258172 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCUは、半導体業界のウェーハ加工用に設計された先進露光装置です。最先端の光学系と最新のマイクロコントローラとオートメーションを組み合わせ、最高品質の結果をより効率的に提供します。FUSION 200 PCUシステムは、均一で正確な露光のための可変形スリット照明を備えた高度で高精度な光学ユニットを備えています。また、デュアル・スリット・プロジェクション・コラムと複数のスリット・オプションを備えており、ウェハ全体の露出角度と焦点深度を正確に制御できます。オプティクスは、全天候型の自動化された環境絶縁機によって、周囲の光と塵から保護されています。AXCELIS 200PCUは、精度を確保するために、自動ビームとエッジのアライメントを備えた高度なウェーハ登録ツールを備えています。また、高精度のフォーカスと画像モーションコントロールシステムを備えており、露光時の精度と再現性を高めています。さらに、FUSION 200PCUには、露出アライメント、露出ドリフト補正、ダイツダイ基板アライメントなど、さまざまな自動化機能があります。これにより、画像とウェーハが迅速かつ正確に処理されるため、最小限のバリエーションと最小限の無駄でスループットが向上します。AXCELIS/FUSION 200PCUには、プログラマブルマスクライブラリと統合されたAI解析アセットがあり、効率と精度を最大限に高めています。また、画像やウェーハが適切なプロセスパラメータにさらされていることを確認するために、さまざまなイメージングツールやプログラムを使用しています。最先端のユーザーインターフェイス200PCU搭載しています。これには、色分けされたグラフィカルユーザーインターフェイス、データ転送および診断用のUSB接続、および簡単な操作のための10キーメンブレンキーボードが含まれます。全体として、200 PCUは、半導体産業におけるウェーハ製造のための高度で効率的なソリューションを提供しています。高度な光学、オートメーション、およびユーザーインターフェイスを組み合わせることで、効率とスループットを向上させることで、より正確で反復可能でエラーのない結果を得ることができます。