中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235771 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCUは、さまざまな産業向けに様々な材料を加工するために設計された先進的な露光装置です。このシステムは、熱伝達を改善し、均一なウェーハカバレッジを提供し、メンテナンスを最小限に抑えて長時間の走行を可能にするように設計された大型チャンバーを備えています。このユニットは、シリコン、窒化ガリウム、ダイヤモンド、石英など、さまざまな基板と互換性があります。このマシンには、EasyLoadTMウェーハハンドラ、コンパクトなロードロッカー、200ワットのX線源が含まれています。超高精度スキャナは、デバイスの正確なイメージングと5 nmの解像度までのトータルプロセス制御を保証します。ユニークで画期的なCold Target X-Ray Sourceは、高度なエネルギー分散アレイを使用して、ウェーハ表面に電気的にチューニング可能なスペクトルを正確に投影します。このツールにはマイクロ波源も含まれており、CVDや拡散などの多くのプロセスでウェーハ全体に迅速かつ均一なベーキングを提供します。統合された油圧シャッターロボットアセットは、ウェーハの処理時間を1分未満に短縮します。ロボットはまた、チャンバーから空気清浄ステップを取り、それらを別のクリーンルームに送り、粒子と水分の汚染を低減します。このモデルは、リソグラフィ、高温アニール、ウェットエッチング、金属蒸着など、さまざまなプロセスのプロセスパラメータを提供します。プロセスコントロールソフトウェアは、機器内のすべてのコンポーネントを監視、座標化、ガイドし、一貫した結果を保証します。このソフトウェアは、カスタムプロセスとソフトウェアツールに優れた柔軟性を提供し、カスタムデザインのレシピを容易にします。このシステムには、空気圧モニター、真空モニター、ガス検出器、パーティクルセンサー、ESD検出器、アーク検出装置など、さまざまな安全装置が装備されています。このユニットは、危険物質への曝露を最小限に抑え、放射線被ばくのリスクを最小限に抑え、電気ショックのリスクを最小限に抑えるように設計されています。また、810-2007に関して放射線防護を提供するように設計されています。この機械は汎用性が高く、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、医療、オートメーション、航空宇宙など、幅広い業界で使用できます。品質と安全性の設計により、プロセスから一貫した信頼性の高い結果が得られます。FUSION 200 PCUは、幅広い機能とアプリケーションを備えており、最先端の露光ニーズに最適です。