中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235770 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCUは、半導体デバイス製造およびマイクロエレクトロニクス向けに特別に設計された露出装置です。中高スループット生産のための正確な制御を提供し、メンテナンスを最小限に抑える必要があります。このシステムは、オプトエレクトロニクス、MEMS、フォトニクス、LEDなど、さまざまなデバイスの製造およびテストに適しています。FUSION 200 PCUには、200ワットの超高出力レーザー光源、13位置ウェハステージ、および3つの独立したフォーカシングオプティクス（CO2、 NIR、およびUV）が搭載されています。これは、2つのローディングオプション（アクティブなロボットと手動ローディング）を提供し、最適なプロセス条件を維持するために温度の変動を相殺するように設計された近代的なサーマルユニットを備えています。AXCELIS 200PCUには、最高精度のアライメントとカスタムの再現性を実現する超精密電動Z軸が装備されています。クローズドループのモーションコントロール機能と統合された計測機器は、レーザー露光量の堅牢で正確な制御に貢献します。このマシンを使用すると、レーザービーム形状やシャッター、スキャン速度、XYムーブメントなど、露出プロセスパラメータを簡単に調整できます。また、潜在的なエラーから保護するための安全機能も内蔵しています。200PCUは非常に汎用性が高く、フォトレジスト、その他の材料、および様々なサイズの基板に均一で迅速な露出を提供します。サードパーティおよびFUSION独自のソフトウェアソリューションと互換性があり、さまざまなタイプのオートメーションセットアップに適合するように設計することができます。AXCELIS 200 PCUは、産業用途向けの高度で効率的な露光ツールです。その最先端の技術と高度にカスタマイズ可能なオプションにより、優れたパフォーマンスと迅速な生産時間を実現します。これは、大量かつ複雑なフォトリソグラフィックおよびイメージングアプリケーションに最適です。