中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235769 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCUは、半導体チップ製造用に設計された高出力露光装置です。コンパクトで汎用性の高い設計により、多くのユニークな要件を迅速に処理できます。照明の均一なフィールドを提供するための露出ヘッド、温度を制御するためのフードプレン、ウェーハ/イメージプレートをサポートおよび転送するためのコンベア駆動キャリア、およびデータを監視およびキャプチャするための複数のカメラで構成されています。露出の頭部はアルミニウムおよび亜鉛アルミ合金から組み立てられ、分野中の優秀な照明を提供している間均一な照明分野を提供する非常に有効な照明単位（HIS）を特色にします。フードのプレナムは、ユーザーが必要に応じて温度を調整できるように設計されています。コンベア駆動キャリアは、露出ヘッドへのウェーハとイメージプレートのスムーズで信頼性の高い搬送を提供します。それは2つのミニチュアカメラが装備されています-1つは下向きに見え、もう1つは上向きに向いています-露光時間と焦点のための読書をユーザーに提供するために。最後に、自動シャッターは露出の間にライトが無駄にされないことを保障します。FUSION 200 PCUはユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、露出設定を正確、迅速、効率的にプログラムできます。また、ショートレシピモードを使用すると、個々のウェーハに合わせた露出設定を素早くプログラムできます。このマシンには、ユーザーがタイムリーに露出設定とデータにアクセスできるインタラクティブなタッチスクリーンディスプレイが装備されています。また、高精度のビジョンアライメントを備えており、ユーザーは画像プレートを正確に調整し、優れたアライメントと結果を保証します。AXCELIS 200PCUは、人員と機器の両方を保護するために特別に設計された多数の安全機能を提供します。セーフティライトカーテンが特徴で、偶発的な光への露出を防ぎます。また、潜在的な安全上の問題を検出するために、フードのプレナム内の温度とガスのレベルを自動的に監視する自己診断装置を備えています。さらに、このツールには緊急停止ボタンが含まれており、緊急時に簡単にアクセスできます。200PCUは、正確な制御と高品質の結果をユーザーに提供する信頼性が高く、堅牢で汎用性の高い露出資産です。その設計は、急速かつ一貫した方法で複数のタイプの半導体チップの生産に最適です。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと強化された安全機能により、露出設定を素早く安全にプログラムし、高品質の画像を作成できます。