中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235768 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCUは、半導体業界で使用されるフォトマスクの製造に使用されるFUSION Technologiesによって設計された最先端の露光装置です。このシステムには強力なソースモジュールが装備されており、高精度、再現性、スループットを備えた多種多様な露光を提供します。ソースモジュールには4つのUVランプがあり、可変電力レベルを備えているため、幅広いフォトマスクに適した露出を選択できます。4つのランプは、ユニットの動作に必要な電力を供給するPEU （Power Extension Unit）によってサポートされています。このマシンは、いつでも最大12枚のマスクを収容できる大きなマスクテーブルで設計されています。モジュールには、ウエハハンドリングツールが内蔵されており、ウエハーとマスクをウィンドウとサポートプレート間で簡単に転送できます。また、デジタルカメラを搭載しており、レンズや絞りの画像を正確に記録・表示することができます。このモデルには、システムが稼働している間に一定の温度を維持するのに役立つ外気冷却装置もあります。FUSION 200 PCUには、完全に自動化されたセットアップおよび制御ソフトウェアがあります。このソフトウェアは、ユーザーが効率的にユニット全体を実行し、制御することができます。このソフトウェアは、ユーザーが顧客の望むフォトマスクの要件に合わせて使用できる強力なレシピを備えています。これは、マシンの実行に必要な時間を短縮するのに役立ち、フォトマスクが正確で一貫していることを保証します。AXCELIS 200PCUは、XY軸ステージを高精度に搭載し、Xトラベルは1350mm、 Yトラベルは1800mmとなっています。これにより、マスクテーブル上のマスクの効率的な移動が可能になります。このツールには、マスクの詳細精度を向上させるために、最大6つの異なるポイントに焦点を合わせることができるマルチポイントフォーカスも装備されています。AXCELIS/FUSION 200PCUは、National Electric CodeとCE markの要件を満たしているため、高度な安全性も提供します。さらに、この資産は厳しい環境規制にも適合しており、フォトマスクを産業用途に安全に使用できるようにしています。FUSION 200PCUは、半導体業界に最適な高機能で信頼性の高い露光モデルです。その包括的な機能セットは、高精度、精度、信頼性とともに、あらゆるフォトマスクメーカーに最適です。