中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9231979 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCU （Photonic Collimated Uniformity）は、高精度フォトリソグラフィ機能を備えた先進露光装置です。FUSION 200 PCUは、カスタマイズ可能で自動化された機能とユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、幅広い半導体およびフォトマスク材料の高速、効率的、正確なアライメント、露出、および処理を可能にします。このシステムは、均一なマスクと収差のない照明機能を備えた2段パターニングとアライメントユニットを採用しています。最初の段階は、イメージアライメントツール（IAT）と精密アライメントツール（PAT）の組み合わせを使用して、x寸法とy寸法の両方で5ナノメートル以内にフォトマスクの精密アライメントを実現するプロジェクションアライナーです。第2段階は、アプリケーションアライドユニフォーム投影（AUP）を使用してフォトマスク材料を均一に露出する露出ツールです。また、AXCELIS 200PCUは、特許取得済みのAQUA （Advanced Quasi-phase-Shift Mask）技術を使用して、プロセスに不可欠なリソグラフィ工程中に均一な強度レベルを確保しています。これは、あらゆるフォトマスク材料のフルサイズ、高収率、プロセス安定化フォトレジストカバレッジを保証するのに役立ちます。AXCELIS 200 PCUは、4つの高度なアライメントと露出モードを備えており、ユーザーは特殊なフォトマスク材料やリソグラフィープロセスに適応することができます。E-RASTERモードは、Eビームの自動書き込み、標準モード、および静的モードを可能にします。さらに、このマシンは、最大スループットと0。5〜12。5umのサイズのフォトマスクの業界標準サイクルタイムよりも高速に設計された「ファストモード」も備えています。イメージングと光学制御のために、200 PCUはアクティブなデジタルテレセントリック光源を利用した光学パッケージを使用しており、ユーザーはより高い柔軟性、安定性、および精度を提供します。このツールには、最も困難なマスキングパターンを見つけることができる高解像度のパターン認識アセットも装備されています。さらに、FUSION 200PCUは垂直と水平の両方の設定で使用できます。最後に、200PCUは、正確で信頼性の高い処理結果を確実にするために、3つの高度なポスト露出処理機能を提供します。基板洗浄、ローディング/アンロード、エッジトリミングなどがあります。これらの機能はすべて完全に自動化されており、同時に使用することができます。つまり、フォトマスクはオペレータの介入が少なく、迅速に処理できます。AXCELIS/FUSION 200PCUは、半導体およびフォトマスク製造において高い精度、精度、柔軟性を提供する先進の露出モデルです。強力な機能により、高速サイクルタイム、高精度なアライメントと露出、高品質な結果を得るための正確な後処理を実現できます。