中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9231978 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCUは、半導体加工用に設計された露光装置です。高解像度リソグラフィ、フォトレジストストリップ、活性化およびエッチング、拡散、化学機械的平面化および計測など、さまざまな製造プロセスに使用できる高性能システムです。このユニットは、露出パラメータの多目的プログラマビリティと露出結果の高精度と再現性を提供します。また、優れたパターン配置精度と高いスループット性能を提供し、残留強度の変化を最小限に抑えます。このツールには、非球面光学レンズ、マスクアライメントモデル、およびデュオソース照明機器を含む高度な光学アセットが組み込まれています。これにより、収差を低減した高解像度の画像処理精度と、ウェーハ表面の均一な照明を実現します。このシステムは、デュアルスポットと均一な照明を備えたスプリットフィールドイメージングを備えており、高スループットで高解像度の画像処理を提供します。さらに、このユニットには3つのプログラム可能な露出パラメータが含まれており、ユーザーはマシンをターゲットアプリケーションとプロセスに合わせて調整することができます。このツールには高度なコントローラが搭載されており、資産の正確な制御と監視が可能です。温度・湿度を自動補正するコントローラにより、安定した環境を維持することができます。さらに、このコントローラには、露出フィーチャーのエッジ配置精度、過剰露出kp係数、および線量の均一性のためのユーザプログラマブルパラメータが組み込まれています。装置は複数のメディアと技術を扱うことができ、アプリケーションのメディアと要件に基づいてパフォーマンスを最適化します。システムは、オンライン診断や低レベルのメンテナンスなど、ユニットの信頼性を高めるための高度な設計を備えています。このマシンは、ユーザーが特定のアプリケーション要件に合わせてツールをカスタマイズできるように、さまざまな構成で使用できます。最適な性能を確保するために、プロのインストールと定期的なメンテナンスが推奨されます。資産はまた、最適な性能と信頼性を確保するために、メーカーの指示に従って運用されなければなりません。また、温度と湿度を制御した環境でモデルを保存することが不可欠です。適切な使用法によって、FUSION 200 PCUは信頼でき、正確な結果を提供します。