中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9229801 を販売中

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製造業者
AXCELIS / FUSION
モデル
200 PCU
ID: 9229801
ウェーハサイズ: 8"
Photo stabilizer, 8" Configured for 6" UV Bake process Irradiator contains Hg high intensity lamp 2.45 GHz Magnetrons for UV radiation generation Cassette to cassette operation Microprocessor controlled Pneumatic controlled uplift for irradiator UV Port housing Operations manual and documentation.
AXCELIS/FUSION 200 PCUは、集積回路やその他の電子部品などの半導体デバイスの製造に使用される露光装置です。高度に自動化された効率的な機器であり、フォトリソグラフィを目的とした幅広いパラメータの精密制御を可能にするコンピュータ制御部品の統合システムから構成されています。FUSION 200 PCUには、電源とコントローラの両方が含まれています。電源は、照明ユニットを駆動するために必要な電圧と電流を供給し、コントローラは露光機のさまざまなパラメータを調整するために必要なロジックと制御を提供します。電源とコントローラはどちらも非常に効率的に動作するように設計されており、消費エネルギーを削減し、ツールの可能性を最大限に引き出します。AXCELIS 200PCUには、ウェーハまたは基板の表面に画像を正確に焦点を合わせることができる多数の光学要素も含まれています。これらの要素には、シャッター、レーザー、レンズ、およびウェーハまたは基板の表面に光を向ける2つのビームスプリッターの組み合わせが含まれます。これらのすべての要素の組み合わせ効果は、高精細集積回路の製造に不可欠な非常に高い画像コントラストを可能にします。FUSION 200PCUの追加コンポーネントには、コントローラからの視覚的なフィードバックを提供する高解像度ディスプレイと、キャリブレーションや画像キャプチャ機能などのさまざまな自動機能が含まれます。FUSION 200はまた、露出アセットをカスタマイズするための幅広いオプションを提供しています各メーカーの正確なニーズを満たします。結論として、200 PCUは、最新の半導体デバイスやフォトリソグラフィ用途の製造に最適な、非常に効率的で正確な露光モデルです。電力効率、高精度な光学素子、多彩な制御オプションなど、理想的なソリューションとなる多くの機能を提供しています。AXCELIS 200 PCUは、多くのメーカーにとって非常に費用対効果が高く信頼性の高い選択肢です。
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