中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9194479 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCU（パーソナルコンピュータユニット）は、複数の異なるリソグラフィ処理用に設計された露光装置です。露出制御、エッチング/開発制御、マスクアライナーに使用されます。PCUは、多くのリソグラフィ機器やコンポーネントに接続されているスタンドアロンシステムです。このユニットは、ワークステーション、コントローラ、電源、メインフレーム、ソフトウェアパッケージなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。ワークステーションはユーザーインターフェイスとして機能し、コントローラはプロセス制御を担当します。電源は機械に電力を供給し、メインフレームには工具のすべての回路が収納されます。ソフトウェアパッケージは、ユーザーがパラメータを入力し、コマンドを実行し、レポートを受信するためのプラットフォームを提供します。FUSION 200 PCUは、カラータッチスクリーンディスプレイ、5インチの高解像度ディスプレイ、マルチキーボードを備えており、データ入力が簡単です。また、最大10,000枚のマスクとアライメントデータを格納するための大規模なデータベースもあります。アセットは、ユーザーがカスタマイズできる複数の通信プロトコルもサポートしています。このモデルは、露光時間、照明パターン、焦点、暗い露光、偏光、露光補正などの露光パラメータを提供することができます。超高速応答を実現し、複数のウェーハ露出を同時に制御することが可能です。この機器はまた、高度なマスクデータベース検索機能を提供しており、特定の要件を満たすマスクセットを取得するために使用することができます。また、社内のプロセスパラメータを監視することができ、外部システムを管理するために拡張することができます。システムには、ユニットのパフォーマンスとアライメントの管理を支援するさまざまな診断ツールがあります。フォーカスエラー、露光タイミング、偏光、キャリブレーション、温度など、最大10,000のパラメータを監視できます。また、自動フォーカスキャリブレーション機能も備えており、マシンが常に最高のパフォーマンスを発揮します。AXCELIS 200PCUは、ユーザーが複数のリソグラフィ操作を実行できるように設計された強力な露出ツールです。タッチスクリーンディスプレイから包括的なデータベースまで、さまざまな機能を備えているため、高度な露出要件に最適なソリューションです。