中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9182824 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCUは、半導体業界の幅広い用途においてデバイスの開発と生産を促進するための先進的な露光装置です。このシステムは、X線ジェネレータ、イメージングカメラ、検出器およびデータ収集エレクトロニクスのセット、および他の多数のサブコンポネントで構成されています。X線発生器は、露出する物質に向けられた高エネルギーの電子ビームを生成します。その後、elec tronビームは、基板材料に刻印される特徴のパターンを含む一連のリソグラフィーマスクを介してルーティングされます。画像カメラは、結果として生じる露出パターンをキャプチャし、それらをデジタル画像として保存します。検出器は照らされた材料の露出レベルを測定し、データ収集エレクトロニクスはこれらのレベルをメモリに記録して保存します。このデータは、露出設定を最適化したり、プロセスパラメータを制御するために使用できる露出プロファイルを生成するためにユニットによって使用されます。FUSION 200 PCUは、さまざまなプロセスパラメータをサポートすることができ、露光制御の優れたレベルの高精細画像を生成することができます。この機械は、異なる基板や材料の複数の露出を取るために使用することができ、設計者はさまざまな特徴サイズのパターンを生成することができます。これにより、接触窓などの微細で繊細な機能を基板上で製造することができます。このツールには、労働者や環境を保護する自動露出制限監視などのさまざまな安全機能もあります。さらに、この資産にはイーサネット対応のデジタル通信があり、リモートアクセスと他のシステムとの統合が可能です。AXCELIS 200PCUは、高精度リソグラフィ用途に適した信頼性と高効率の露光モデルです。強力なイメージングカメラとパラメーターの範囲で、装置は様々なデバイスの研究、開発、生産のための素晴らしいツールを提供します。