中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9157617 を販売中
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AXCELIS/FUSION 200 PCUは、先進的な半導体製造プロセスで使用するために設計された最先端の露光装置です。このシステムは、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス部品の製造に必要なエネルギーと強度の正確な用量を提供するように設計されています。このユニットは、高度なデジタル制御機と幅広い光学部品を使用して、露出パラメータを正確に制御できます。工具の中核は制御モジュールで、放熱ファン付きの防水アルミエンクロージャに収納されています。このモジュールは資産の頭脳として機能し、露出をカスタマイズするための幅広いオプションをユーザーに提供します。LCDディスプレイとタッチパネルを備えており、ユーザーが希望のパラメータを簡単に入力できます。ユーザーは、あらかじめプログラムされた設定のライブラリにアクセスして、露出レシピを素早く設定することもできます。このモデルは、スライドアセンブリ上で中断されている光学トレイで構成されます。このトレイは、ビームを所望の形状に形成するために使用される機器の実際の光学部品を保持しています。これは、露出の形状と強度を設定する究極の柔軟性をユーザーに提供するように設計されています。このシステムは、最大200ワットの電力を供給できる工業用グレードの電源を搭載しており、サージ保護、熱過負荷、および過電流保護を統合しています。また、電源には冗長で独立したチャネルがあり、ポンプとライトの同時動作を可能にし、中断のない動作を保証します。また、ユーザーの安全を確保するための安全機能も装備しています。この機械には、工具の近くの予期しない動きを検出するモーションセンシングスイッチがあり、損傷や害が発生する前にアセットを無効にします。最後に、FUSION 200 PCUを使用すると、統合ソフトウェアを使用してプロセスを簡単に監視できます。このソフトウェアを使用すると、リアルタイム監視、予測分析、データロギングにアクセスできます。ユーザーはカスタムレポートを作成し、将来の参照用にデータを保存することもできます。全体として、AXCELIS 200PCUは非常に汎用性が高く効率的な露出モデルであり、ユーザーは最大限の精度でプロセスを迅速に設定および実行できます。この装置は信頼性が高く、堅牢で、ユーザーの露出パラメータと安全機能を比類のない制御で制御し、ユーザーとシステムを安全に保ちます。
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