中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9106832 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCUは、産業用および実験室用に設計された露光装置です。このシステムは、高精度でユーザーフレンドリーな露出制御を提供し、さまざまな材料やプロセス条件に対応します。このユニットは、ビームデリバリーキャビネットとプロセスチャンバーで構成されており、2つの統合ソフトウェアプログラムがあり、効率的で正確で反復可能な結果を保証します。ビームデリバリーキャビネットには、プロセスチャンバーへの電子ビームの配信を制御するレンズとミラーのセットが含まれています。ビームの経路は、キャビネットの前面にあるコントロールノブを使用して、ビームステアリングを正確に操作することができます。これにより、ビームを正確に集中させてターゲット材料に向けることができます。プロセスチャンバーは、電子ビームを露出させるための理想的な基板環境を作成するために使用される真空チャンバーです。特殊なUHVフランジは、清潔で乾燥した環境を確保するためにチャンバーの上部と下部に取り付けられています。また、基板加熱および冷却用の絶縁チャンバーを内蔵しており、チャンバー内の温度と環境を正確に調整できます。さらに、ガス入口と通気孔は、清浄な入口ガスを提供し、動作中に潜在的に危険な粒子のための安全な通気装置を作成します。FUSION 200 PCUソフトウェアは、露出プロセスを制御する強力でユーザーフレンドリーなツールをユーザーに提供します。ビーム電流、基板温度、圧力などのパラメータを素早く簡単に設定できます。あらかじめ定義されたレシピのライブラリを使用すると、セットポイントをすばやく作成して保存できるため、プロセスを繰り返しやすくなります。ソフトウェアには、自動故障検出および整流モジュールも含まれており、露出プロセス中にユーザーに異常があることを警告し、迅速に修正するように誘導します。これにより、露光プロセスの精度と再現性が向上します。全体として、AXCELIS 200PCUは、さまざまな材料の正確で高精度な露出を達成するための強力で信頼性の高いツールです。ビーム配達キャビネット、プロセス部屋およびユーザーフレンドリーなソフトウェアの組合せはそれを産業および実験室の設定のための理想的な選択にします。