中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9038085 を販売中

AXCELIS / FUSION 200 PCU
製造業者
AXCELIS / FUSION
モデル
200 PCU
ID: 9038085
ウェーハサイズ: 8"
UV photostabilizers, 8" Single chamber UV bake 3-Axis robot.
AXCELIS/FUSION 200 PCUは、超複合型マイクロエレクトロニクス部品の製造用に設計された、高度で信頼性の高い露光装置です。このシステムは、比類のない機能分解能を備えたマイクロエレクトロニクス部品の生産を可能にする独自の高出力ビーム供給ユニットを備えています。FUSION 200 PCUは、幅広い基板や材料を扱うために構築され、競合するシステムのほんの一部のコストで優れたプロセスを生成します。AXCELIS 200PCUは、ユーザーが露出プロセスを最大限に活用できるさまざまな機能を提供しています。この機械には、明るく集中した電子ビームを利用したビーム配信ツールが含まれており、一連のフィールドとレンズを介してルーティングされ、ビームを細かく操作して最大解像度に達することができます。この資産はまた、低消費電力から高出力までの信頼性の高い露光電力を提供し、高品質のマイクロエレクトロニクス部品の生産を保証します。FUSION 200PCUはまた、ビームが重要なパラメータを満たしていることを確認するために設計された洗練されたビーム制御モデルを備えており、露光プロセス全体においてターゲットに留まっています。この装置を使用すると、電子ビームのパワーレベル、速度、フォーカス、および発散を効果的に監視および調整することができます。さらに、このシステムは、露光プロセス中に基板を監視する高度なセンサーを統合し、プロセスを積極的に調整して最適な結果を確保することができます。AXCELIS 200 PCUには、露光プロセス中の汚染の範囲を制限するように設計された高度な真空環境も含まれています。この真空環境は、プロセス中に不要な汚染を引き起こす可能性のある有害なガスや粒子が付近にないことを保証するのに役立ちます。最後に、200 PCUにはFUSION Monitorソフトウェアパッケージが含まれており、ユーザーは露出プロセスのすべてのファセットを1つのアクセスから監視および調整できます。この強力なソフトウェアを使用すると、露出プロセス中にユニットからデータを収集することができ、発生する可能性のある問題や不一致を特定して修正するのに役立ちます。結論として、200PCUは、基板や材料の広い範囲で優れた結果を提供する信頼性と高度な露光機です。このツールは、高度なビーム配信資産、高度なビーム制御モデル、高度な真空環境、正確なAXCELIS Monitorソフトウェアパッケージなど、多数の機能を統合しています。AXCELIS/FUSION 200PCUは、高品質で高精度なマイクロエレクトロニクス部品を必要とするメーカーにとって理想的なオプションです。
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