中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9038084 を販売中
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AXCELIS/FUSION 200 PCU （Process Control Unit）は、高度な半導体やその他の電子部品の製造用に特別に設計された、高度で完全にプログラム可能な低エネルギー露光装置です。最先端のプロセスモデリング、制御、最適化、検証技術を備えており、最大限のプロセス制御と一貫した再現性のある結果を提供します。FUSION 200 PCUは、フォトレジストモデリング、プロセス制御、機械制御、パフォーマンス検証からなるマルチレベルのプロセスアーキテクチャを採用しています。これにより、プロセス変数とシステムのパフォーマンスを最大限に制御でき、最高レベルのプロセス制御と再現性を実現します。これは人間工学に基づいたワークステーションで設計されており、メインフレーム・プロセッサ、大型フラットパネルモニタ、入出力ペリフェラルを含むすべての主要なユニット・コンポーネントに簡単にアクセスできます。ディスプレイパネルはユーザーフレンドリーで、プロセスパラメータとデータに関するリアルタイム情報を提供します。AXCELIS 200PCU独自のプロセス制御技術により、放射線電力、線量率、ビームプロファイリング、解像度など、幅広いプロセスパラメータを正確に制御および最適化できます。これにより、シャープなイメージング、反復可能な結果、および所望の設計出力を調整する能力が得られます。性能検証技術は、機械の性能とプロセスレシピのモニタリングを可能にし、リアルタイム分析による即時フィードバックを提供することにより、高度な品質保証を提供します。これは、ファインライン、サブミクロンデバイスの製造の検証に特に有益です。AXCELIS/FUSION 200PCUは、露出の管理と最適化を簡素化するフォトマスクライブラリレシピの包括的なライブラリと、複数のプロセスの自動化を可能にするプロセスレシピの包括的なライブラリも備えています。包括的な機能を備えた200PCUは、高度な半導体やその他の電子部品の製造に最適なソリューションです。
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