中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9016214 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCU装置は、最先端のリソグラフィ処理と機能を提供する強力な露光システムです。幅広い機能を備えており、さまざまなフォーマットのさまざまな基板を正確にパターン化できます。FUSION 200 PCU露光ユニットは、高度なターゲット・リノベーション・リターダー（TRR）と最先端光学を組み合わせた、深紫外線（DUV）露光源を使用して動作します。堅牢なエアベアリングマシンは、正確で再現性のある動きを保証し、正確なオーバーレイとパターン配置を可能にします。さらに、AXCELIS 200PCUには、最先端の低応力ウェーハ改修ツールとその場光学監視アセットが含まれており、ほぼリアルタイムのデータ監視が可能です。これにより露光時間が短縮され、より高い収率と歩留まりが向上します。FUSION 200PCUは、エッチバックや可変露光など、様々な画質均一な操作が可能で、優れた歩留まりと機能精度が得られます。さらに、このモデルは業界をリードするオーバーレイ精度を提供し、1つの作業ステップで複数の露出グリッドをパターン化できます。付属の自動アライメントツールは、さまざまな画像フォーマットと互換性があり、セットアップと実行がこれまで以上に簡単になります。AXCELIS/FUSION 200PCUは、レジスト処理機能に関して、中間および高エッチングの選択性をサポートし、ピッチを約0。6ミクロンまで露出させることができます。また、フォトレジスト特性を正確に評価できる高度なレジスト評価機能も搭載しています。AXCELIS 200 PCUシステムは、最も一般的なCADプログラムやプロセスプラットフォームと互換性があり、既存のセットアップに簡単に統合でき、生産性と運用の柔軟性が向上します。また、センサーや光学系など様々なアクセサリを取り付けることができ、ニーズに応じたカスタマイズが可能です。全体的に200 PCUは、幅広い機能と機能を備えた強力で効率的な露出機であり、ユーザーは優れた歩留まりと機能精度を達成できます。それはさまざまな基質および層のタイプのために適しています、それをさまざまな適用のための優秀なlithographic解決にします。