中古 AXCELIS / FUSION 200 PCU Polo #9196916 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCU Poloは、要求の厳しいフォトマスク生産に精密かつ再現可能な露出を提供するように設計された先進的な露出装置です。このプラットフォームは、5Xと6Xの両方の露出アプリケーションに最適です。Poloは、高分解能の計測と基板処理を備えた自動トラックシステムで、歩留まり性能に優れています。このユニットは、特許取得済みの最先端のマスフローコントロール（MFC）無湿度ドライエア技術を使用して設計されており、重要な繰り返し露出アプリケーションに精密かつ再現可能な用量を提供します。MFC技術は、露出線量を0。8％以内に再現することができます。機械に自動ローディング、配置およびオリエンテーション制御を含む高度の基質の処理が、あります。このツールには、自動化されたバックサイドアライメント、および金属アライメント監視も含まれています。基板サイズは200mmまで、厚さ1。5mmまで対応可能です。高度なオプトメカニカルアセットは、優れた光学性能を提供します。光学モデルは、高性能の回折補正露光レンズと自動化されたアライメント装置を使用しています。最先端の露出システムは、4µmまでの最高クラスの露出均一性を提供するように設計されており、0.1µm/mmの低い線形歪みと組み合わされています。FUSION 200PCU POLOはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）で設計されており、迅速なセットアップと露光パラメータの正確な再現性を実現します。このユニットは、豊富なプロセスと基板データ収集機能を備えたオペレータフレンドリーなコントロールを備えています。このデータは、正確で反復可能な露出を保証するために使用されます。AXCELIS 200 PCU/POLOは、要求の厳しいフォトマスクの製造に精密かつ再現可能な露出を提供する先進的な露出機です。実績のある光学性能、MFC制御ツール、自動基板処理により、優れた歩留まりと正確な再現可能な用量を提供できます。このモデルのユーザーフレンドリーなGUIは、簡単なセットアップと正確なプロセス制御を保証します。