中古 AXCELIS / FUSION 200 PC #9383814 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PC露光装置は、さまざまなフォトマスク露光およびウェーハパターニングプロセスに対応するために設計された信頼性の高い高性能プラットフォームです。このシステムは、所有コストを削減し、スループットを最大化するための高度な機能を提供し、さまざまなマスクおよびウェーハアプリケーションに最適です。この露出装置には、高いポンピング速度と低く安定した背景圧力を特徴とする高度な真空機械が装備されています。また、自動ウェーハカセットローダーとクリーンなロボットアームを備えており、マスクやウェーハの効率的なドライクリーニングが可能です。ユニークな特徴は、露出時にマスクとウェーハの距離を素早く変更できるフォーカス距離（DTF）です。このアセットには、シングルからマルチマスクの露出と調整可能なシャッタースピードを備えた4段階の露出レベルが付属しています。FUSION 200 PCには、高性能な画像処理ソフトウェアが内蔵されており、高度な前露および後露光機能を提供します。このモデルはまた、統合されたマスク検証とアライメントシステムを提供し、迅速かつ正確なパターン配置を可能にします。統合されたVacuum Transfer （VACTRANS）装置と自動ウェハハンドリングシステムにより、露出時間を最小限に抑えます。また、人間工学に基づいた安全機能と画像モニタリングシステムを提供し、正確性と安全性を確保します。全体的に、AXCELIS 200 PC露出ユニットは、フォトマスク露出とウェハパターニングプロセスを含むさまざまなマスクおよびウェハアプリケーションの管理に最適な信頼性の高い高性能マシンです。先進的な真空ツール、自動ウェーハカセットローダー、クリーンなロボットアームなどが付属しています。さらに、統合された画像処理ソフトウェアおよびその他の統合された安全機能、ならびにマスクの検証およびアライメントシステムは、迅速かつ正確なパターン配置と生産性の向上を可能にします。