中古 AXCELIS / FUSION 200 PC #9250798 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCは、柔軟なセットアップと操作で信頼性の高い半導体製造機能を提供するように設計された自動リソグラフィ露光装置です。このシステムはデュアルチャンバー設計で、1つのユニット内に2つの独立したプロセスチャンバーを備えています。1つはレジストを開発するため、もう1つはレジストを露出およびパターン化するためのものです。この機能により、プロセスの均一性や精度を犠牲にすることなく、フォトレジストおよび基板処理の高いスループットを実現します。デュアルチャンバーの設計は、化学汚染物質や他の汚染物質が1つのチャンバーから他のチャンバーに移動するのを防ぐことによって、相互汚染リスクを低減するという利点もあります。FUSION 200 PCは、スピンコート、焼き、整列、露出、露出後の焼き、開発、洗浄など、さまざまなプロセス手順を実行できます。また、光学系を使用して基板上のパターンを配置およびマッピングする高度な自動アライメント技術も搭載しています。この技術は、解像度と精度を向上させ、ユーザー入力時間を大幅に短縮します。また、AXCELIS 200 PCには、コンピュータ化されたウェーハ処理機能が搭載されており、基板の搬送段階での正確な基板移動と正確な位置決めが可能であり、搬送時間を短縮できます。200 PCは、再現可能なイメージングチャンバーカメラツールだけでなく、基板とクリティカルパターニングのアライメントを容易にする内蔵の表示ポートを備えています。アセットにはモジュール構造と人間工学に基づいた設計があり、メンテナンスの容易さを高めながらユーザーアクセスとモビリティを向上させます。AXCELIS/FUSION 200 PCは、機器のプロセス制御をシームレスに統合し、完全に統合することを可能にするユーザーフレンドリーなオンボードプロセス制御モデル（OPCS）を備えています。OPCSは、プロセスパラメータを監視し、システム動作中のユーザーの介入を最小限に抑えるように設計されています。FUSION 200 PCは小さな部品を動かすことができ、全体的にユニットのアップタイムを向上させます。このマシンはまた、単一のウエハの再現性と高スループットを提供します。さらに、自動化された基板処理技術により、工具歩留まりを最適化しながら手動セットアップ時間を短縮します。この資産は、プロトタイプと小規模生産アプリケーションの両方に適しています。