中古 AXCELIS / FUSION 200 PC #9205015 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PC露光装置は、サブミクロン機能を備えたデバイスを製造するために設計された高精度で高度なリソグラフィーシステムです。これは、特定のアプリケーションに合わせて調整することができます露光光学の広いスペクトルを備えています。FUSION 200 PCユニットは、高度なイメージング技術と高度なシーケンシャルイルミネーションを使用して、極めて正確なパターニング結果を実現します。AXCELIS 200 PCマシンは、露出ヘッド、ステッピングモーター、およびPECVDツールと他のコンポーネントで構成されています。露出ヘッドには、パターン画像を素早く正確にキャプチャする高速デジタルカメラが内蔵されています。システムの放射源はキセノンランプかレーザーである場合もある。カメラから取得したデータをPECVDアセットに転送し、所望のパターンを生成します。200 PCモデルに対応したSXA 200ポリゴンスキャナは、高解像度のイメージング機能を提供します。スキャン速度と解像度は、さまざまなデバイス要件に対応するために簡単に調整することができます。露出成分のVCUおよびエミッタは、露出プロセスに関連するノイズも低減します。さらに、電動プラットフォームにより、露光プロセス中に基板の位置を正確に調整することができます。AXCELIS/FUSION 200 PC機器には、システムのメニューとコントロールを簡単にナビゲーションできるフラットパネルディスプレイも備えています。ディスプレイは、露出時間や露出エネルギーなどの露出プロセスを監視し、特定のアプリケーション要件に合わせてユニットを調整することができます。さらに、Diagnostics MachineはFUSION 200 PCから主要なデータとパラメータをキャプチャし、ツールのトラブルシューティングと最適化に使用できます。AXCELIS 200 PCのコンピュータインターフェースを使用すると、露出とプロセスパラメータをすばやく確認および調整でき、ネットワークやインターネットへの簡単な接続も可能です。これにより、200 PCは露出アセットをリモートで管理し、生産効率を最大化するための効果的なツールとなります。