中古 AXCELIS / FUSION 200 PC #9157616 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 PCは、高度な半導体プロセス向けに設計された先進的な露光装置です。このシステムは、より大きな作業場、高解像度、および優れた露出制御の形で優れたパフォーマンスを提供します。高度なシャッター制御とアライメント精度で、最大200mmのサイズの基板を露出することができます。高解像度イメージングオプティクスを採用し、基板上の優れたパターニング性能を発揮します。最大200mmのフォトレジスト、ガラス、その他の透明度の高い材料など、精密露出を必要とする幅広い基板に対応できます。このマシン独自のAuto Focusアルゴリズムにより、フォーカスと解像度の自動調整が可能になり、露出したウェーハ上で最適で再現可能な機能が保証されます。このツールは、最適なパフォーマンスと効率を確保するために設計された最新の機能によってさらに強化されています。このアセットは、露出チャンバ内でウェーハを正確に配置するための自動ウェーハアライメントと調整を備えた強力なウェーハハンドリングモデルを備えています。また、密閉ループシャッター装置を内蔵しており、露出の一貫性のある開閉と正確なシャッター制御を保証します。さらに、独自のダイツダイパターン配置システムにより、ウェーハ上の複数のダイパターン間の正確なアライメントが保証されます。また、最大8秒のUV露光時間を備えています。これにより、スループットと生産性が向上し、過剰なエクスポージャーに関連する欠陥が軽減されます。また、ポンプ速度を自動的に最適化し、紫外線配分を最適化するユーザーフレンドリーなイオンポンプを備えています。露出機は、安全で一貫した動作を保証する統合された保護ガラスでさらに保護されています。FUSION 200 PCはレーザーアライメント機能などの高度な機能も備えているため、ダイアライメントや露出前のプラズマ洗浄などのアライメント作業を即座に完了できます。さらに、このツールは、EビームまたはStepper露出制御ソフトウェアを含むプロセス制御用の最先端ソフトウェア、ならびにデジタルI/O制御ソフトウェアによってサポートされています。さらに、さらなる信頼性と安全性のために、専用の安全スイッチとハードウェアロックを備えたハードウェアおよびソフトウェアレベルの安全監視が含まれています。これにより、モデルは国際的な安全基準に従って動作することが保証されます。したがって、AXCELIS 200 PCは、高度なフォトリソグラフィおよびパッケージングプロセスに最適な機器です。