中古 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9399207 を販売中
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AXCELIS/FUSION 200 ACUは、パターン化されたシリコンウェーハを紫外線にさらすために設計された自動露出装置です。このシステムは、レーザダイオードアレイ、パターン認識光学、位置センサ、コンピュータ制御モーションシステムなどの高度な技術を使用して、さまざまなアプリケーションにウェーハを正確に露出させます。FUSION 200 ACUは、紫外線を最大1000ワットで放出できる高効率レーザダイオードアレイを備えており、従来の露光システムよりも高いスループットを実現しています。レーザーダイオードアレイは、高度な光学技術に基づいており、自己校正されているため、単一のウエハ内でより高い精度と繰り返し露出パターンを可能にします。この単位はまた多角形、円、楕円、長方形および六角形、また周期的および非周期的なパターンまたは格子に後退することができる。AXCELIS 200ACUの自動パターン認識および精密光学系は、ウェーハ上で露出ゾーン品質（EZQ）分析を行うことができ、パターン化されたウェーハを1つのパスで正確に認識して正確に露出することができます。また、レーザーダイオードアレイの下でウェーハを正確に移動させ、露光走行の間を移動させる先進的なモーションシステムを採用し、位置センサーを介してウェーハ上のパターンの位置を正確に検証します。これにより、パターンのサイズ、向き、複雑さに関係なく、パターンが正確に露出します。この自動露光ツールは、3インチ、5インチ、8インチ、12インチのウェーハを含むさまざまなウェーハに対応でき、ユーザーフレンドリーであり、ユーザーは特定のプロセスのニーズに合わせてアセットを微調整する柔軟性を提供します。堅牢で信頼性の高い設計により、200 ACUはパターン化されたシリコンウェーハを含むあらゆる製造プロセスに最適です。
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