中古 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9235767 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 ACUは、半導体、MEMS、オプトエレクトロニクス、および高度なパッケージングアプリケーションなどの高度なデバイス用途において、再現性と正確な結果を得るために設計された包括的なウェハレベルの露出装置です。このシステムは、高出力のキセノンランプ、高度な収差補正器、および内部の自動フィールド補正機で構成される専用の照明ユニットを備えています。この技術は、高輝度で均一な光パターンを提供し、露光時間の短縮とデバイスの歩留まりの向上を可能にします。さらに、最先端の補正ツールにより、露光パターンの収差と歪みを最小限に抑え、結果の一貫性と精度をさらに向上させます。この組み合わせにより、FUSION 200 ACUの露出は、完全に統合されたレベルのプロセス制御により、ダブルパターンとオーバーレイ精度を1。0 µm以下に達成することができます。この露出アセットには、さまざまな統合されたサブコンポネントとプロセス機能も含まれています。これらには、スタンドアロンの2段マッピングモジュール、高精度サブミクロンステッパー、およびレーザーダイレクトイメージング（LDI）モジュールが含まれます。これらの統合コンポーネントにより、AXCELIS 200ACUは、極端な紫外線（EUV）、深紫外線（DUV）、高度なパッケージングアプリケーションなど、さまざまな高度なプロセスを単一のモジュラーソリューションでサポートすることができます。さらに、FUSION 200ACUは、構成可能なアーキテクチャを通じて高いレベルの柔軟性を提供します。このモジュール設計により、あらゆるコンポーネントを再構成することで、さまざまな実験やユーザーのニーズに対応できます。さらに、統合されたネットワークと制御モデルにより、機器のリモートアクセスと操作が可能になり、既存のラボや工場のフロア設定と容易に統合できます。最適な環境を維持するために、200 ACUは、露出プロセス全体にわたって安全でクリーンな環境にウェーハを維持するための高度な転送システムとガスボックスを備えています。さらに、セルフレベリングダイナミック真空チャックは、メンテナンスフリーの操作を提供し、より小さな基板上のパターンの高分解能を可能にします。AXCELIS 200 ACUは、研究開発アプリケーションに最適な露出ソリューションです。コンポーネントの統合ユニット、柔軟なアーキテクチャ、堅牢なオートメーション機能により、さまざまな高度なデバイスアプリケーションで再現性と正確な結果を保証します。