中古 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225549 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 ACU装置は、半導体リソグラフィにおける高スループット、費用対効果、および卓越した解像度を実現するフル機能の先進露光システムです。実績のある高度なリソグラフィ機能とプロセス自動化機能を組み合わせることで、製造メーカーは必要なコスト削減と高度なプロセスノードの実装における実用性を向上させます。このマシンは、精密校正されたアライメントステージと組み込まれた登録マーク検出システムのおかげで、高度なオーバーレイ精度と登録の均一性を提供します。TwinScan Twinscan 5x STマイクロステッピングベースのウェーハステージは、広い視野と直径200mmまでの大きなウェーハのオーバーワイズ処理も可能です。ACUのOn-Axis I-Line Lighting Illuminatorは、プロジェクトを最適化するために、プロセスの均一性とレチクルの均一性を向上させます。そのソリッドステート照明ツールは、製品のパフォーマンスとリソグラフィープロセス制御を強化します。さらに、可変プリパルス機能により、ドーパント密度のより集中的なバランシングが可能になり、より高度なプロセスノードのライン幅とスペース幅の制御が向上します。また、電動フォーカスユニット、距離測定モデル、液体フォトレジスト高さ測定装置、ダイレクトレーザー干渉測定システムなど、幅広いオプションのハードウェアコンポーネントも提供しています。これらの周辺ソリューションの拡張性により、リトグラファーはニーズを満たすために必要な柔軟性を提供します。品質と信頼性を向上させるために、FUSION 200 ACUには、マルチプロジェクター機能、現場でのプロセス制御、統合されたプロセスレシピ、ファクトリーオートメーションシステムとの統合、拡張または複数のパターニングのサポートなど、必要なすべての機能があります。また、高度なウェーハファシリテーションユニットと統合された真空ハンドリングマシンを備えており、セットアップ時間を最小限に抑えて加工されたウェーハへの移動と交換を迅速に行うことができます。AXCELIS 200ACUツールは、市場の他のソリューションと比較して多くの利点を提供する汎用性の高いソリューションです。それは新しく、既存の生産ラインの統合のために完全です、アーキテクチャはプロダクトの速い転換を促進し、費用節約の利点を可能にします。この資産はまた、信頼性が高く、優れた結果と一貫した生産プロセス管理を提供します。