中古 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225547 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 ACUは、高精度光学と高解像度の結果を達成するための幅広いオプションを備えた先進的な露光装置です。それは商業および産業適用のために設計されています。FUSION 200 ACUは、ウェーハ表面の正確な制御とイメージングに自動焦点システムを使用します。可変速度、高精度の制御ユニットを備え、露出パラメータの微調整が可能です。露出機械はあらゆる方向で安定した、精密な動きを提供する空気軸受け構造を使用します。AXCELIS 200ACUには、可変絞りダイヤフラムとコリメータ絞りが装備されており、ウェーハ表面に高品質のビーム均一性と露出均一性を提供します。このツールは、調整可能なカラムの位置と角度、および3つの調整可能な軸（X、 Y、 Z）も備えています。アセットには、露出および露出パラメータを制御する自動プロセッサがあります。これにより、簡単なプログラミングとウェーハの高速露出を可能にします。この自動露出モデルには、露出プロファイルの記録と露出データストレージも含まれており、高品質の結果と複数の露出実行での露出パラメータの再現性を可能にします。200ACUはまた、露出しにくいマスクやその他の特殊なアプリケーションのための専門オプションが装備されています。接触、近接、乾燥露出が可能なため、さまざまなウェハ製造プロセスに適しています。AXCELIS 200 ACUは、露光分野のすべての領域で非常に一貫した露光均一性を備えており、非常に正確です。コンパクトでセットアップが簡単で、自動化された機能により、さまざまなアプリケーションに迅速かつ効果的に準備することができます。自動化された機能と簡単なプログラミングにより、露出時間を最小限に抑え、露出精度を最大化できます。200 ACUは高分解能の結果、精密な制御、および異なった適用のための選択の広い範囲を提供する高度の露出システムです。自動化された機能と簡単なプログラミングにより、さまざまなウェーハ製造プロセスに最適です。