中古 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9191126 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 ACUは、単一の基板、複数の基板、および非常に複雑な基板の精密で再現可能なリソグラフィ制御を提供するように設計された、高度な自動露光装置です。最も要求の厳しいフォトリソグラフィックアプリケーション用に設計されたACUは、複数の基板を含むさまざまな基板および機能の露出を適用、制御、監視することができ、高い再現性を備えています。このシステムは、リソグラフィ処理を最適化するためのユーザーエクスペリエンスと堅牢で強力な機能を合理化します。ACUの最適化された光学設計と機械設計により、簡単かつ費用対効果に優れた長寿命の低燃焼イルミネーションを使用できます。効率的なクォーツハロゲンランプは、高イルミネーションと低イルミネーションの両方で再現可能な露光を提供します。さらに、高度で調整可能なシャッターコントロールにより、正確なシャッター操作と位置決め、優れたシャッターキャリブレーションが可能です。ACUはメインフレームとコントロールユニット、露出ヘッドで構成されています。メインフレームはデジタルディスプレイとコントロールで構成されており、シャッターコントロールと絞り設定のダイヤル設定が含まれています。制御ユニットは、ヘッドコントローラ、ウェーハデジタル読み出し、モータ制御技術で構成されています。メインフレームは高度なソフトウェアと高度なハードウェアの改善を実行し、最大8つの露出プログラムを格納する機能を備えています。直感的なユーザーインターフェイスにより、ACUは幅広い環境設計に簡単に統合できます。広範なレンズ、プリズム、およびミラーのセットはリソグラフィの条件を満たすためにシャッター、映写光学および露出ヘッドをカスタマイズするために利用できます。さらに、自動化された統合されたリアルタイム診断マシンにより、パフォーマンスの監視と調整が可能になり、ダウンタイムを防止し、インストール、再調整、再調整に伴うコストを最小限に抑えることができます。ACUは、クリーンでメンテナンス性の低い設計と、温度湿度制御、電磁干渉（EMI）シールド、換気エンクロージャなどのさまざまな環境制御をユーザーに提供します。このツールは、半導体およびフォトリソグラフィック産業向けのFDA認定の安全対策にも準拠しています。結論として、FUSION 200 ACUは、複雑な基板の精密で再現性のあるリソグラフィ制御を提供するように設計された、高度なフル機能を備えた資産です。クリーンで低メンテナンス設計、自動化された診断、および幅広い光学および機械的機能を備えています。高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えたACUは、より高い精度と再現性を必要とするアプリケーションに最適です。