中古 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9083197 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 ACUは、フォトマスクの製造用に設計された自動露光装置です。このシステムは信頼できる性能および長期使用のための柔軟性、費用有効性および高性能を提供します。超高速小型ステッピングモータを搭載し、精密かつ一貫した結果を提供します。高速で乾燥時間を短縮し、露出精度を向上させます。その高解像度の光学系と可変スリットのサイズは、さまざまなフォトマスクの種類を処理することができます。また、クローズドループ機と調整可能な速度により、正確なパターン登録とアライメントが可能です。マルチゾーン構成により、高解像度で様々な基板サイズの信頼性の高い露出と、各ゾーンの露出を可能にします。FUSION 200 ACUの高度なシャッターツールは、正確な露光時間制御を提供し、フィルターアセンブリは340W/cm²までの光エネルギーの正確な変調を保証します。また、熱放散を改善するための低真空アセットや、機器を操作する際の安全性を高めるためのレーザーインターロック安全モデルなど、高度な安全性とメンテナンス機能を備えています。また、ユーザーの利便性を考慮した人間工学に基づいた設計で、デバイスセキュリティ用のセルフロックハンドルを備えています。インパクトの高いエンクロージャにより、ユニットの振動がなく、クリーンルーム対応設計により粒子の汚染を最小限に抑えます。さらに、光学カメラ監視機とAIoT監視ツールは、データ、設定、プロセスを継続的に監視し、ユーザーに資産の異常や欠陥を警告します。全体として、AXCELIS 200ACUは信頼性が高く、費用対効果が高く、高性能な露出モデルであり、多くのフォトマスク生産ニーズに適しています。その高度な機能と設計により、正確で一貫した結果が得られ、長年にわたる信頼性の高いパフォーマンスを安全かつ確実に実行できるようになります。