中古 AXCELIS / FUSION 200 ACH #136440 を販売中

AXCELIS/FUSION 200 ACHは、半導体デバイス上で高品質のイメージングパターンを作成するために使用される露光装置です。それは顧客にクラス最高のイメージング結果を与えるように設計された機能のツールボックスを提供します。ステッピングモータ制御からハイパワー電源まで、ACHは今日市場で入手可能な最も洗練されたリソグラフィ装置の1つです。ACHは、システム速度と精度を向上させるために、独自の200mmスパニング視野で設計されています。ステッピングモーター制御により、画像フィールド全体で+/-1µmの精度を保証します。さらに、画素解像度は最大0。44ミクロンで、画像の細部にまで及んでいます。このユニットの4象限ソース制御により、露光時間が短縮され、生産性が向上します。ACHは、複雑なOLEDディスプレイや半導体コンタクトイメージセンサデバイスなどの高度なリソグラフィ用途に最適です。裏面ウェーハ検査、マスク書き込み、金型検査のフルスペクトルで優れた画像を生成することができます。高度な機能を最大化するために、ACHには画像処理ソフトウェアが内蔵されています。これにより、オペレータは画像スキャン、画像解析、センサー出力、プロセス制御などの機能を実行できます。また、ウェーハの裏側検査ツールとしても機能し、ウェーハの欠陥や修理の可能性についての詳細な情報をオペレータに提供します。ACHには冷却装置が内蔵されており、標準の6インチ（15 cm）および8インチ（20 cm）のウェーハで動作するように設計されています。直接操作モードと遠隔操作モードの両方を備えているため、さまざまな半導体ラボ施設で使用できます。さらに、低コストで軽量な設計により、さまざまなタスクのためのソリューションを費用対効果が高く簡単に輸送できます。FUSION 200 ACHは、さまざまな半導体製造タスクに対応できる強力で高精度な露出ツールです。詳細なリソグラフィーパターニングから正確な画像解析、プロセス制御機能まで、ユーザーに優れた画質と精度を提供します。低コストで汎用性の高い設計により、ACHはあらゆるハイエンド半導体ラボ施設に最適なソリューションです。