中古 AXCELIS / FUSION 150PC #9302854 を販売中

AXCELIS/FUSION 150PCは、半導体デバイス製造に使用されるフォトリソグラフィープロセス用に設計された露光装置です。FUSION Technologiesは、先進的なプロセス技術ソリューション分野のリーダーです。このシステムは、可変ビーム（VSB）パターン発生器を使用して、高エネルギー紫外線の集中した精密なスポットを生成し、フォトマスク上の希望のパターンを露出させます。このユニットは、高解像度、広視野、および多層空中イメージング機能により、高い生産性を発揮します。FUSION 150PCは、最大150ワットの電源を備え、ビームのサイズと形状を制御するための最適化された投影光学を提供します。VSBパターンジェネレータ、イメージングレンズ、関連する電源で構成されています。イメージングレンズは、最大のイメージング精度を可能にするマルチレベルのテレセントリシティで設計されています。スケーラブルな自己整列フォーカシングマシンは、7要素のガリレオ光学ツールと自動フォーカスコントロールを使用してサブミクロンレベルの再現性を実現します。高精度のビーム位置決めアセットにより、VSBパターンジェネレータとイメージングレンズの安定した高速アライメントを可能にし、完璧さを確保します。AXCELIS 150 PCは、高解像度の0.7µmを備えており、広いダイナミックレンジで優れた画像を生成することができます。その広い視野は、さまざまなマスクサイズと異なる回路パターンに優れたイメージング機能を提供します。また、多層空中イメージングにも対応し、複雑な3D構造のハイスループット加工が可能です。その自動パターン認識は、パターン認識プロセスの高精度を可能にします。この装置は、5umの精度でマスクテーブルの位置精度を制御および検出できる高精度アライメントシステムで設計されています。また、電源遮断や安全インターロックなどの高度な安全機能も備えています。さらに、その光学部品は自動キャリブレーションと統合されており、手動調整の数を減らします。全体的に、FUSION 150 PCは、フォトリソグラフィープロセス用に設計された優れたUV露光機です。高精度ビーム成形ツール、広視野、多層空中イメージング機能により、最大解像度と高スループットを実現します。AXCELIS 150PCは、最先端のフォトリソグラフィーマシンとして、半導体デバイスの製造に最適な選択肢です。