中古 AXCELIS / FUSION 150PC #9061421 を販売中

AXCELIS/FUSION 150PC Exposure Equipmentは、レチクルやその他の基板を処理するための高度な自動化ソリューションです。このシステムは、フォトレジスト、レイヤーレベル、金属、エッチング、検査などの処理段階を単一の露光ツールで提供することができます。これは、比類のないレベルのスループット、信頼性、再現性、およびプロセス制御を提供します。このユニットは、モジュラー型のマルチゾーン設計コンセプトに基づいています。これにより、マシンはユーザーの特定のニーズに応じて適応することができます。汎用性が高く、低コストのシングルポイントツールとして、または各基板層の複数の露出を持つフル機能のデュアルポイントアセットとして構成することができます。このモデルにより、バッチモードとインラインモードの両方での動作が可能になり、ユーザーはスループットとプロセスのバリエーションを最適化できます。高強度の紫外線源、すべてのレンズと光学部品、イメージエンハンサーなど、必要なすべての部品が付属しています。このシステムは、高度なプロセス制御と再現性を提供するように設計されています。IECS （Integrated Exposure Control Unit）は、マシンソフトウェア内に仮想レイヤーを作成し、各レシピのパラメータを保存および調整できます。これにより、ユーザーは各レイヤーのプロセスパラメータを正確に制御および最適化できます。このマシンには、最先端のリソグラフィースイートも備わっています。このソフトウェアは、設計の準備と編集から露光パラメータの微調整まで、リソグラフィープロセスを管理および自動化するように設計されています。このソフトウェアには、一連の監視および分析ツールも含まれており、ユーザーはプロセス状況を監視し、リアルタイムで結果を分析することができます。このツールはまた、高度な顕微鏡検査機能のセットを提供しています。それは高解像度の画像や3Dモデルをキャプチャするためのライブ放送カメラと統合することができます。それはまた、リソグラフィの特徴の検査と分析を容易にするために、拡大の範囲で構成することができます。最後に、この資産は優れたオートメーション性能を提供するように設計されています。自動ステージトラバーサル機能により、複数の基板を同時に迅速に処理できます。さらに、このモデルの直感的なユーザーインターフェイスと堅牢なロボティクスにより、オペレータの操作が容易になり、機器の操作が高速かつ簡単になります。全体として、FUSION 150PC Exposure Systemは非常に洗練された多面的なソリューションで、レチクルやその他の基板の処理に最高レベルの精度と信頼性を提供します。このユニットは、最大のパフォーマンス、拡張性、自動化、およびプロセス制御を提供するように設計されています。非常に適応性が高く柔軟なアーキテクチャにより、あらゆるリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。