中古 AXCELIS / FUSION 150PC #84749 を販売中

AXCELIS/FUSION 150PCは、高度なフォトリソグラフィ処理の厳しい要求に応えるように設計された最先端の高性能ウェーハおよびマスク露出装置です。FUSION 150PCは、2つの独立したウェーハとマスクステージを備えた完全に統合された光学カラムで、2つのアーキテクチャ設計を備えています。このユニークな2-in-oneアーキテクチャは、ウェーハとマスクを同時に露出させることができ、高度なリソグラフィ処理におけるスループットの向上に対する厳しい要求に応えるのに最適です。このシステムは、強力なプログラマブルレーザードライブと統合されたマスクとウェーハレチクルステージを使用して、レチクルとウェーハの正確なアライメントを保証します。また、光学顕微鏡からUVおよびSEM検査システムまで、高度な光学パッケージとフルスイートのイメージングオプションを備えています。AXCELIS 150 PCには、光路補正、画像強化、完全にプログラム可能な自動アライメントおよび測定ツールなど、包括的な処理ツールと機能が含まれています。内蔵の校正および検証スイートにより、一貫した再現性のある結果が保証されます。このマシンには、精度とスループットを向上させる画期的な新しい制御手順が付属しており、ユーザーは線量、タイミング、フォーカス、およびその他の重要なパラメータを簡単かつ迅速に制御できます。FUSION 150 PCは、従来のIラインツールの最大解像度を1。5倍にすることができるため、超微細な回路機能を実現すると同時に、コストを削減することができます。このアセットには、非破壊的なレーザーパワーテストを可能にする高度な診断ツールも装備されています。一貫性を必要とする分野では、このモデルは高度なオーバーラップパターニングアルゴリズムで設計されており、ユーザーの労力と介入を最小限に抑えてウェーハからレチクルへの露出をマッチングできます。AXCELIS 150PCは、堅牢で信頼性の高い設計を備えた最先端の機器であり、高度なリソグラフィープロセスで最高レベルのスループットと精度を達成するのに理想的です。革新的な機能と高度な制御システムの組み合わせにより、あらゆる半導体製造設備に最適です。