中古 AXCELIS / FUSION 150 #9384765 を販売中

AXCELIS/FUSION 150は、FUSION Technologies Inc。が開発した半導体製造プロセス用の高性能露光装置です。このシステムは、ウェーハ加工、リソグラフィ、ケモエピタキシー、MEMS製造などの用途に適しています。このユニットは、今日の半導体製造業界の厳しいニーズに対応するための高度な機能を提供し、優れた性能と信頼性を提供します。FUSION 150は、非軸パターンフィールドイルミネーション（PFIL）プラットフォームに基づいています。このユニークなプラットフォームは、高精度で非対称の機能を露出させることができます。イメージングと照明の解像度はそれぞれ1。4 nmと14 nmです。さまざまな画像処理アルゴリズムを備えた自動化されたアライメントツールを使用して、正確で反復可能なフィールドパターニングを保証します。アセットは、微細な露出制御と調整を可能にします。このモデルは高度な計測および高度なモーションコントロール機能と完全に統合されており、高いスループットと正確な結果を保証します。その高解像度ツールキットは、正確なオーバーレイと再現性を可能にします。フルフィールド、象限、セグメントなどのプログラマブルなフィールドサイズ構成をサポートし、正確なリピート位置決めと露出を可能にします。AXCELIS 150は非常にエネルギー効率が高く、パワーと冷却ユニットを統合した高性能エネルギー管理装置を備えています。必要な電力と冷却コンポーネントはすべて、最適なエネルギー効率と信頼性を得るためにシステムに統合されています。このユニットは、グローバルな安全および規制要件に準拠しており、信頼性と長期的な運用のために設計されています。また、直感的なユーザーインターフェイスで構築されており、簡単で直感的な操作を可能にします。さらに、堅牢なマシン構成により、迅速で簡単なツールの統合と実行が可能です。150に自動整列、統合された分野パターン、完全なオートメーションおよび高いエネルギー効率を含むさまざまな特徴があります。高精度の露出プロセスと費用対効果の高いウェーハ製造に最適です。その高度な機能と信頼性の高い動作は、半導体の生産要件に非常に適しています。