中古 ARGUS INTERNATIONAL 7725 #9020940 を販売中

ARGUS INTERNATIONAL 7725は、リソグラフィ、フォトマスク、ダイレクトライトエレクトロンビームリソグラフィ、ウェハテストなど、さまざまなアプリケーションに使用される洗練された露光装置です。高精度のウェーハ登録、多彩な露出制御、正確なビーム位置決めを組み合わせ、幅広いアプリケーションに最適なパフォーマンスを提供するように設計されています。ARGUS 7725は、精度とスループットを向上させるためのフライ・バイ・スキャン電子ビームを備え、リソグラフィに最適です。このシステムには4つの大容量ロードロックが装備されており、複数のウェーハを一度に転送できるため、生産性が向上します。また、ウェーハ表面イメージングと最適化のための高解像度充電結合デバイス（CCD）カメラを備えています。これにより、高精度なアライメントとプロファイル測定が可能になります。また、光学画像と電子画像を同時に取得するための高精度の電気光学装置を提供し、最も正確なパターンを確保するのに役立ちます。また、リソグラフィとダイレクトライトオペレーションの両方のための測定アルゴリズムの広い範囲を備えており、正確なオーバーレイと線量制御を可能にします。ARGUS ARGUS INTERNATIONAL 7725は、プロセスの安定性を向上させるための独自の温度および湿度制御を提供します。また、大気、相対湿度（ARH）許可を必要とする基板やレジストを使用する場合にも、信頼性の高い結果を得ることができます。これは、温度と湿度レベルを制限する統合された環境制御ツールで行われます。ARGUS 7725には、基板の積み降ろしに便利な複数のウェハポートが装備されています。また、広範なネットワーク機能と直感的でユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えており、ユーザーは遠隔地から資産を監視できます。これにより、機械とのより良いコミュニケーションと、会社の共有データベースへのシームレスな統合が可能になります。結論として、ARGUS ARGUS INTERNATIONAL 7725は、重要なパターニングと線量制御を正確かつ迅速に提供できる高度な露出モデルです。ARGUS 7725は、高精度の測定アルゴリズムや環境制御など、いくつかのユニークな機能を備えており、信頼性が高く、長期的な性能と優れた処理結果を提供します。