中古 ADTEC Inprex IP-3600H #9307644 を販売中

ADTEC Inprex IP-3600Hは、正確で反復可能なフィーチャー登録精度を持つフォトマスクまたはパターンフィルムを製造するように設計された産業用グレードの露出装置です。高度なオートメーションとコンパクトな設計により、ミッドレンジのフォトマスク生産に最適です。このシステムには、直接書き込みフォトマスクまたはフォトマスクパターン用の300mm/12インチマスクサイズプラットフォーム、およびフィルム露出用の200mm/8インチプラットフォームが装備されています。高解像度のプロジェクションレンズと高精度のドライブユニットを備えており、ドリフトやフィーチャー登録エラーを最小限に抑えて高品質な結果を保証します。Inprex IP-3600Hは、ステップとリピート、シングルショット、マルチレベルパターニングなど、さまざまな露出技術を備えており、複雑で複雑な設計ジオメトリを備えた高品質のパターンを作成できます。また、露出前のパターン変更用のイメージエディタも内蔵されており、ユーザーはパターンを微調整することができます。この機械は、石英、シリコンウェーハ、レジストコートウェーハ、ガラス、セラミックスなど、さまざまな基板に対応するように設計されています。この基板は、3軸回転メカニズムを備えた自動二段基板ステージに取り付けられ、正確で再現性のある露出結果を提供します。その高度な光学およびウェーハ管理ツールは、露出品質、スループット、歩留まりを最適化します。ADTEC Inprex IP-3600Hには、CD/Linewidth機能が0.2µmまで搭載されており、OEM曲線から最適化された露出までの柔軟な解像度と4µmおよび露出流動を備えています。高速スキャン機能により、ハイスループットマスクの製造に特に適しています。直感的なユーザーインターフェイスと幅広いオートメーション機能により、手動操作と自動操作の両方に適しています。全体として、Inprex IP-3600Hは、高精度フォトマスクやパターンフィルムの製造に最適な堅牢な機能とオートメーション機能を備えた高度で高性能な露出アセットです。