中古 ADTEC Bex-250S-W #9384307 を販売中

ADTEC Bex-250S-Wは、集積回路の製造における正確なパターン転送用に設計されたフルオートマチック、高精度露光装置です。直径8インチまでのウェーハに細かく高品質なパターンを作り出すことができます。このシステムには、0。5から250Wまでの露出エネルギーレベルを達成できる50mJレーザー光源が装備されています。レーザー光源は広い分光光度範囲を備えており、高精度で安定した性能を発揮します。また、高精度なビーム配向機を搭載し、ウェーハとのビームの正確なアライメントを可能にします。Bex-250S-Wは、直線、円、線パターンなど、さまざまな露出フォーマットをサポートすることができます。また、マルチレベルの露出とマルチエクスポージャーのパターンにも対応しています。また、パターンエッジの滑らかさ最適化のサポート、欠陥検査、エッジオーバーラップ補正、品質管理など、開発時間と労力を最小限に抑えるように設計された幅広い機能を備えています。レーザー光源とビーム方向のアセットに加えて、異物検知器、レーザー露出、およびアンロードチャンバー間でウェーハを安全かつ確実に輸送する真空オートローダーも装備しています。これにより、装置はウェーハを連続的に正確かつ効率的に処理することができます。ADTEC Bex-250S-Wは、直感的なユーザーインターフェイスで非常にユーザーフレンドリーに設計されています。露出パラメータ、パターンエッジ最適化、シーケンス最適化などのステップを簡単にプログラムできます。このシステムは、潜在的な問題をユーザーに警告するアラームユニットも備えており、ユーザーが迅速かつ簡単に調整または変更を行うことができます。Bex-250S-Wは、シングルレイヤーとマルチレイヤーの両方の集積回路の製造に最適です。高精度で高精度なため、高品質の集積回路を製造する上で非常に貴重なツールです。